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5月13日，上交所受理了芯碁微装的科创板上市申请，并披露了该公司首次公开发行股票并在科创板上市招股说明书（申报稿）。

据悉，芯碁微装主要从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售以及相应的维保服务，主要产品及服务包括PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统、其他激光直接成像设备以及上述产品的售后维保服务，产品功能涵盖微米到纳米的多领域光刻环节。

招股书披露，2017年度、2018年度和2019年度，公司营业收入分别为2,218.04万元、8,729.53万元和20,226.12万元，净利润分别为-684.67万元、1,729.27万元和4,762.51万元。报告期内，搞公司业务规模逐年扩大，净利润由负转正，并呈现增长趋势。

而近年来，芯碁微装的研发资金投入也是逐年增加，2017-2019年，芯碁微装投入的研发费用分别为791.80万元、1,698.10万元和2,854.95万元。

申报稿显示，芯碁微装本次拟募集资金不超过3,020.2448万股，在扣除发行相关费用后拟用于高端PCB激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目、晶圆级封装（WLP）直写光刻设备产业化项目、平板显示（FPD）光刻设备研发项目和微纳制造技术研发中心建设项目。

其中，高端PCB激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目拟在合肥市高新区进行高端PCB制造LDI设备的迭代升级项目的建设，项目达产后，将具有年产200台LDI产品的生产能力。通过本项目实施将进一步拓展发行人LDI系列设备产品的市场空间，推动发行人主营业务收入的持续增长。

晶圆级封装（WLP）直写光刻设备产业化项目拟在合肥市高新区进行晶圆级封装（WLP）直写光刻设备产业化项目的建设，项目达产后，芯碁微装将具有年产 6 台 WLP 直写光刻设备产品的生产能力。

平板显示（FPD）光刻设备研发项目拟在合肥市高新区进行项目的建设。在现有OLED中低端产线直写光刻设备的核心技术、产品开发积累的基础上，对OLED高端产线直写光刻设备进行研发，为芯碁微装将来发行OLED高端产线直写光刻设备的产业化打下坚实的基础，同时也为未来主营业务在 FPD 领域的拓展奠定良好的基础。

至于微纳制造技术研发中心建设项目，将建设微纳制造技术研发中心，通过该项目的实施，能进一步满足下游不断发展的光刻设备应用需求，助力发行人未来收入规模持续增长与产品服务结构优化升级，为发行人未来的主营业务发展提供坚实的技术支撑。

5月11日，临港区与韩国VPS株式会社成功签约半导体真空泵项目，预计投资1000万美元，拟生产半导体光伏产业用真空泵，投产后，预计年产可生产真空泵4000台套，产值达到5亿元。

据悉，本次签约的韩国VPS株式会社是一家专业从事各种干式螺杆真空泵及真空机组研发、生产和销售的高新技术企业，是目前世界上生产干式螺杆真空泵产品系列最全的公司之一。

“疫情期间，我们也没放松，积极通过网上与企业家沟通、交流，及时共享我区的最新动态，稳定项目方投资预期，在2月份就与项目方达成合作意向，并在网上签订了合作框架协议。”临港区商务局相关负责人介绍道，达成合作意向后，安排专人专线服务，紧盯靠上，最终推动该项目成功落地签约。

据悉，今年疫情以来，临港区主动转换招商思路，通过线上新方式，主动对接500强、央企、强企项目资源，搜集储备了一批好项目、大项目，累计签约引进了13个优质产业项目。

“下步我们将继续坚持产业高端化、集群化、国际化的招商思路，利用好市领导带队出访长三角、京津冀活动机会，进一步夯实巩固项目方投资信心，推动在谈项目加速‘成果转化’。”临港区商务局相关负责人表示。

近日，由沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“芯源微”）生产的前道涂胶显影机到位中芯北方进行验证。据沈阳日报报道，这意味着国产涂胶显影设备开始大批量走向市场。

资料显示，芯源微成立于2002年，是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业，目前主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，产品包括光刻工序涂胶显影设备（涂胶/显影机、喷胶机）和单片式湿法设备（清洗机、去胶机、湿法刻蚀机），产品可用于6英寸及以下单晶圆处理（如LED芯片制造环节）及8/12英寸单晶圆处理（如集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节）。

2019年12月16日，芯源微在上海证券交易所科创板上市，成为了辽宁省科创板“第一股”和中科院第一家科创板上市企业。根据此前的招股书披露，芯源微拟向社会公开发行不超过2,100万股，计划募集资金3.78亿元投入高端晶圆处理设备产业化项目、高端晶圆处理设备研发中心项目两大项目。

2019年度报告显示，芯源微生产的前道涂胶显影设备于2018年下半年分别发往上海华力、长江存储进行工艺验证，其中上海华力机台为前道Barc（抗反射层）涂覆设备，已于2019年9月通过工艺验证并确认收入；长江存储机台为前道涂胶显影设备，目前仍在验证中。通过在上海华力、长江存储的验证与改进，公司光刻工序前道涂胶显影设备在多个关键技术方面取得突破，技术成果已应用到新产品、新客户，截至目前，已陆续获得了株洲中车、青岛芯恩、上海积塔、宁波中芯、昆明京东方、厦门士兰等多个前道大客户的订单。

而集成电路前道晶圆加工领域用清洗机Spin Scrubber设备的各项指标均得到明显改善或提升，已经达到国际先进水平。该类设备已在中芯国际、上海华力等多个客户处通过工艺验证，截至目前已获得国内多家晶圆厂商的重复订单。

此外，芯源微生产的光刻工序涂胶显影设备与单片式湿法设备，已经从传统的先进封装领域、LED领域拓展到MEMS、化合物、功率器件、特种工艺等领域，截至目前已累计销售800余台套，已作为主流机型应用于台积电、长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、华灿光电、乾照光电、澳洋顺昌等国内一线大厂。

沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“芯源微”）生产的前道涂胶显影机，通过了北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司的验证。据人民网报道，这意味着，打破国外垄断、填补国内空白的国产涂胶显影设备开始大批量走向市场。

资料显示，芯源微成立于2002年，是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业，目前主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，产品包括光刻工序涂胶显影设备（涂胶/显影机、喷胶机）和单片式湿法设备（清洗机、去胶机、湿法刻蚀机），产品可用于6英寸及以下单晶圆处理（如LED芯片制造环节）及8/12英寸单晶圆处理（如集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节）。

2019年12月16日，芯源微在上海证券交易所科创板上市，成为了辽宁省科创板“第一股”和中科院第一家科创板上市企业。根据此前的招股书披露，芯源微拟向社会公开发行不超过2,100万股，计划募集资金3.78亿元投入高端晶圆处理设备产业化项目、高端晶圆处理设备研发中心项目两大项目。

2019年度报告显示，芯源微生产的前道涂胶显影设备于2018年下半年分别发往上海华力、长江存储进行工艺验证，其中上海华力机台为前道Barc（抗反射层）涂覆设备，已于2019年9月通过工艺验证并确认收入；长江存储机台为前道涂胶显影设备，目前仍在验证中。通过在上海华力、长江存储的验证与改进，公司光刻工序前道涂胶显影设备在多个关键技术方面取得突破，技术成果已应用到新产品、新客户，截至目前，已陆续获得了株洲中车、青岛芯恩、上海积塔、宁波中芯、昆明京东方、厦门士兰等多个前道大客户的订单。

而集成电路前道晶圆加工领域用清洗机Spin Scrubber设备的各项指标均得到明显改善或提升，已经达到国际先进水平。该类设备已在中芯国际、上海华力等多个客户处通过工艺验证，截至目前已获得国内多家晶圆厂商的重复订单。

此外，芯源微生产的光刻工序涂胶显影设备与单片式湿法设备，已经从传统的先进封装领域、LED领域拓展到MEMS、化合物、功率器件、特种工艺等领域，截至目前已累计销售800余台套，已作为主流机型应用于台积电、长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、华灿光电、乾照光电、澳洋顺昌等国内一线大厂。

近日，上海陛通半导体能源科技股份有限公司与江苏省太仓市高新区进行半导体设备项目投资协议签约。

据太仓日报报道，该项目为12吋纳米级离子化学气相沉积PECVD和8吋微米级反应离子物理溅射沉积RiD的先进工艺及装备研发和制造基地，专注于开发与发展半导体集成电路产业的高端设备制造。

据悉，陛通太仓项目总投资10亿元，2022年可实现产值5亿元，达产后年产值10亿元，将在太仓建设研发中心、生产中心和销售中心。

Source：视频截图

资料显示，上海陛通半导体能源科技股份有限公司成立于2008年，主要研发、生产高端半导体设备，主营业务包括高端集成电路制造设备及相关关键部件的研发和销售；高端集成电路制造、液晶面板、LED、光伏制造设备的改造、升级、重新布局、迁移等服务；以及整套集成电路制造生产线及生产段的设备运行维护服务等。

上海陛通半导体公司董事长宋维聪表示，陛通公司拥有强大的研发团队和研发实力，借助太仓良好的发展环境，有信心在太仓打造全国为数不多的半导体整体装备研发和制造基地。 

4月28日，中微公司发布《关于拟签署投资协议暨购买土地并进行项目建设的公告》，进一步落实公司在中国（上海）自由贸易试验区临港新片区（以下简称“临港新片区”）的布局。

公告显示，今年2月，中微公司与临港新片区管理委员会签署《合作意向协议书》，拟使用自有或自筹资金在建设高端半导体装备研发与产业化项目。就这次投资合作相关事宜，经进一步磋商，中微公司拟与相关合作方签署正式投资协议，在临港新片区竞拍土地建设中微临港产业化基地及中微临港总部和研发基地，投资主体为本公司或本公司在临港新片区新设立的全资子公司。

根据投资协议，该项目拟下设中微临港产业化基地及中微临港总部和研发基地，中微临港产业化基地用地选址的目标地块位于临港产业区闵联临港园区内，土地面积预计为151544平方米，约折合227.3亩。中微临港总部和研发基地用地选址的目标地块位于临港科技城园区内，土地面积预计为16700平方米，约折合25.05亩。

中微公司表示，随着公司规模及业务的扩张，公司在现有上海总部厂区的半导体设备生产与 研发将会出现瓶颈，本次选址在临港新片区进行项目投资，能够充分利用该区集成电路产业集群优势，将有利于完善公司的产业链布局，进一步做好公司半导体设备领域的中长期发展规划，提升公司整体实力，推动公司半导体设备产业的发展，进一步提升公司的盈利能力和综合竞争实力。

中微公司董事会已审议通过了本次投资的相关议案，董事会提请股东大会授权董事会全权负责本次投资相关事宜，相关议案尚需提交股东大会审议。本次投资涉及的项目投资金额、建设周期以及实施进度存在不确定性。

据了解，临港新片区于2019年8月正式揭牌，对标国际上公认的竞争力最强的自由贸易园区，打造更具国际市场影响力和竞争力的特殊经济功能区。临港新片区总体方案提出将建立以关键核心技术为突破口的前沿产业集群，包括建设集成电路综合性产业基地，推动核心芯片、特色工艺、关键装备和基础材料等重点领域发展等。

去年年底，中微公司董事长兼首席执行官尹志尧在首届临港新片区投资论坛上表示，临港新片区承载国家战略使命，立足“卡脖子”和新兴产业关键技术环节的创新发展，对集成电路产业政策支持力度非常大，这里将成为世界级先进集成电路产业高地。

尹志尧当时披露，中微公司希望建立一个临港半导体设备和材料产业基地，其中有研发中心、大规模生产基地、销售和结算中心、产品投资平台，集成电路工业互联网平台。

以5G、人工智能、IoT为代表的新一代信息技术以及近期被热议的“新型基础设施建设”为集成电路提供了新的增量市场，也为处于产业链上游的半导体装备制造企业带来更多机遇。对此，国内最大的半导体设备生产企业北方华创科技集团股份有限公司董事长赵晋荣日前在接受《中国电子报》记者采访时表示，面对数字时代带来的红利，国内半导体设备企业在加强提高自身创新能力的同时，更重要的是积极与客户建立紧密的战略合作伙伴关系，全面支撑中国半导体设备产业国产化需求。

集赞誉，获首肯

支撑设备国产化发展需求

半导体设备是完成晶圆制造、封装测试和实现集成电路技术进步的关键。有数据表明，半导体设备是晶圆代工厂的最大投资项，约占整体投资的70%。赵晋荣告诉《中国电子报》记者，近年来，中国集成电路产业取得了长足发展，已成为全球规模最大、增速最快的区域市场。芯思想研究院数据显示，国内计划新建的20家Fab投资总计将超过1000亿元，将会带来超过700亿元设备需求。

考虑到晶圆厂对国产设备的逐步认可和性价比优势，在接下来的产能扩张中，国产设备将会有更大的机会。赵晋荣向记者表示：“受中国市场需求旺盛以及国际环境的影响，存储芯片、2.5D/3D封装、CIS、第三代半导体、Micro/Mini-LED等产业国产化热潮涌动，驱动国产高端半导体装备业快速发展。作为国产设备企业，北方华创已经有包括刻蚀机、PVD、CVD、外延设备、湿法清洗、炉管等在内的30多种成熟设备在国内集成电路生产线上量产使用，随着越来越多的评估工作逐步开展，国内半导体装备企业将迎来历史性的发展契机。”

同进退，共抗疫

增强客户对国产设备的信任

去年年底开始的新冠肺炎疫情使得全球三大经济体与重要制造业地区受到严重影响，半导体整体市场需求的下滑，倒逼产业上游厂商设备支出同时缩减。SEMI于近期下调了今年全球晶圆厂设备支出的预估。赵晋荣告诉记者：“对于北方华创来说，公司业务涉及的国内外供应商部分停工、减产，对整体供应链的到货时效产生了一些影响。但是北方华创通过积极协调、紧急备货，使得整体生产工作得以有序进行。”

但从另一方面看，本次疫情对国内半导体装备产业的长期发展起到了一定的促进作用。赵晋荣表示，由于国外疫情逐渐恶化，国外主流设备公司停工或居家远程办公，与客户的沟通和交流处于暂停状态，尤其是针对国内客户的服务和响应不及时的问题突出。疫情期间，国外原厂支持工程师很难到位，这给客户的排产造成较大影响。“在这种情形下，北方华创作为本土供应商优势凸显。疫情期间，我们一直持续提供服务，积极采取防疫措施，在保证人员健康安全的前提下，快速响应客户需求。举例来说，公司专门为身处武汉疫区工作的客服人员租住了酒店，租了专车往返于酒店与客户工厂之间，对关键客服人员，直接就近住在客户的员工宿舍，更‘贴身’地满足客户需求。疫情期间，与客户‘同进退，共抗疫’的情谊，也极大地增强了客户对国产设备的信任。从长远看，相信这对中国高端半导体装备业的自主发展是十分有利的。”

新基建，新机遇

进一步深化客户战略合作

谈到未来，赵晋荣表示，半导体在中国作为战略产业的地位不会改变，中国继续发展本地化装备能力的趋势也不会改变，受疫情催生的“宅”经济和工厂自动化的需求，将为半导体产业链各环节带来持续的机会。5G、汽车电子、物联网、AI、高性能运算、工业机器人、智能穿戴等新一代信息技术的发展，尤其是最近中央提出的“新型基础设施建设”，进一步提高了对集成电路的需求，从而也为国产半导体设备行业发展带来新的机遇。

一代器件，一代工艺，一代设备，已经成为业内共识。而业内专家也多次强调要完善国内集成电路产业链建设，全面提升国内集成电路产业综合竞争力。赵晋荣认为，半导体设备行业的国产化发展将是大势所趋，国内厂商应该看到这个趋势，进一步加深与客户的合作，争取让客户研发之初就接纳国产设备。国产设备商应致力于与客户形成更加紧密的、互相绑定的战略合作伙伴关系，抓住中国半导体当前迅猛发展的契机，抓住存储器、IGBT、3D IC、Micro LED等应用机会，发挥国产设备速度快、服务好、成本低的优势，在业内建立良好的口碑，从而开辟国产设备新领空。

随着年报密集披露期到来，各上市公司近日相继发布其2019年业绩报告。作为科创板首批上市企业以及国内半导体设备重要厂商之一，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）一直备受关注，那么，过去一年里其交出了怎样一份答卷？

4月16日，中微公司发布其2019年年报，并于4月17上午召开了业绩说明会。年报显示，2019年中微公司实现营业收入19.47亿元，同比增长18.77%；实现归母净利润1.89亿元，同比增长107.51%。按季度分，中微公司2019年第一季度到第四季度分别实现营收为3.76亿元、4.24亿元、4.16亿元、7.29亿元，其中第四季度营收增长明显。

毛利率方面，中微公司2019年度毛利率为34.93%，较上年度减少0.57个百分点。对于毛利率下降，中微公司董事长、总经理尹志尧在业绩说明会中表示，公司刻蚀设备的毛利率已达到国际同行的水平，但MOCVD设备的毛利率在公司设备进入市场之前，由于美国和德国设备公司的激烈竞争，已经降到很低的水平。由于中微的MOCVD设备的销售占公司销售相当的比例，所以公司的总毛利率相比偏低。

研发方面，2019年度中微公司的研究开发支出共计4.25亿元，占营业收入21.81%，较上年度的24.65%减少2.84个百分点。截至2019年12月31日，公司已申请1467项专利，其中发明专利1297项；已获授权专利1015项，其中发明专利859项。

5纳米刻蚀设备获批量订单

尹志尧在业绩说明会中披露，截至2019年底，中微公司1300多台刻蚀机和MOCVD设备的反应台已在40多条亚洲、欧洲和国内先进生产线量产。

年报显示，在逻辑集成电路制造环节，中微公司开发的高端刻蚀设备已运用在国际知名客户65纳米到7纳米的芯片生产线上；同时，公司根据先进集成电路厂商的需求，已开发出5纳米刻蚀设备用于若干关键步骤的加工，并已获得行业领先客户的批量订单。目前公司正在配合客户需求，开发新一代刻蚀设备和包括更先进大马士革在内的刻蚀工艺，能够涵盖5纳米以下刻蚀需求和更多不同关键应用的设备。

在3D NAND芯片制造环节，中微公司的电容性等离子体刻蚀设备可应用于64层的量产，同时根据存储器厂商的需求正在开发新一代能够涵盖128层关键刻蚀应用以及相对应的极高深宽比的刻蚀设备和工艺。

此外，中微公司的电感性等离子刻蚀设备已在多个逻辑芯片和存储芯片厂商的生产线上量产，根据客户的技术发展需求，正在进行下一代产品的技术研发，以满足7纳米以下的逻辑芯片、1X纳米的DRAM芯片和128层以上的3D NAND芯片等产品的ICP刻蚀需求，并进行高产出的ICP刻蚀设备的研发。

MOCVD设备方面，中微公司研发的用于制造深紫外光LED的MOCVD设备已在行业领先客户端验证成功。用于Mini LED生产的 MOCVD设备的研发工作正在有序进行中。制造Micro LED、功率器件等需要的MOCVD设备也在开发中。

中微公司指出，目前公司虽然已有了长足的发展，但距离公司的长远目标、距离行业和资本市场的期望还有很大的改进、发展空间。

国际贸易摩擦及新冠疫情影响

近年来国际贸易和科技方面的摩擦不断，今年以来新型冠状病毒疫情持续蔓延，对产业链企业产生了不同程度的影响，尹志尧在业绩说明会上对相关问题作出了回应。

关于新冠疫情对生产、销售及原材料供应方面的影响，尹志尧表示，中微公司有400多家材料和零部件供应厂商，疫情期间公司一直紧密跟踪供应厂商的供货情况，有问题及时解决，保持了100%的材料按时供应率和100%设备的按时运出率。有极少数供应商提供的极个别零部件，由于疫情影响产能调整，到今年中期有一定供货风险，中微公司正和这几家供应厂商及时沟通，要求零部件按时到位。

生产线方面，尹志尧表示公司在2月下旬生产线已完全恢复，公司各方面生产经营情况都已走入正轨。在设备按计划运出方面，除武汉地区客户有些推迟，其他地区情况都按计划进行。至于今年的订单方面，尹志尧表示订单整体向好，但下半年还得看疫情影响情况。

至于国际贸易和科技方面的摩擦，尹志尧表示，近年来国际贸易和科技方面的摩擦不断，对国内部分企业已经有相当的影响，但中微公司从成立开始就严格遵守相关法律法规，一直保持与相关国家和地区政府部门的及时沟通。到目前为止，中微的业务尚未受到实质性的影响。

尹志尧指出，如果全球贸易和科技的摩擦继续恶化，国际化的高科技公司都会受到更大影响。中微公司正密切关注国际形势的变化，对潜在的不利因素和负面影响持续进行评估，并制定相应的防范预案。

将通过投资并购拓展版图

在未来发展方面，中微公司在年报中表示，未来公司将通过投资、并购等外延式成长途径扩大在集成电路领域及泛半导体领域的产品和市场覆盖，并继续探索核心技术在国计民生中创新性的应用，不断推动企业健康发展。

中微公司进一步指出，在高度竞争的产业形势下，公司考虑在有机成长的同时，通过投资并购国内外高端的半导体设备厂商，使公司能够覆盖更多的产品品类、占领更多细分市场，会重点考虑并购等离子体刻蚀、薄膜沉积设备和测量设备等领域的集成电路前道设备公司，以及其他泛半导体领域设备公司。

据了解，中微公司已参投了沈阳拓荆、Solayer、洪朴科技等企业，目前在上述三家企业的持股比例分别为11.20%、15.38%、23.73%。

尹志尧表示，今后公司计划继续通过有机生长，不断开发新的产品，不断提高市场占有率；同时将在适当时机，通过投资、并购等外延式生长途径，扩大产品和市场覆盖，力争在未来十年内，发展成为在规模上和市场占有率上成为国际一流的半导体设备公司。

自科创板创建以来，已经获得多家半导体企业的青睐。

江苏无锡作为国内老牌集成电路重镇，也有多家企业已经完成科创板上市或计划冲刺科创板，如华润微已经成功闯关科创板，而无锡芯朋微电子的科创板IPO申请也已经获得上交所受理。

此外，无锡另一家半导体企业江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称“微导纳米”）也计划冲刺科创板。

据江苏省证监局官网此前公开披露的信息显示，微导纳米上市辅导申请已获省证监局受理备案，拟申报科创板上市，保荐券商为中信证券股份有限公司。

资料显示，微导纳米于2015年12月成立于无锡市新吴区，是一家高端装备制造商，主要从事先进的原子层沉积(ALD)和反应离子刻蚀(RIE)装备的研发生产销售，业务涵盖新能源、柔性电子、半导体和纳米技术等工业领域。

据无锡高新科技指出：下一阶段，无锡高新区将继续协同推进，精准服务好芯朋微、微导纳米等拟上市企业，解决建好上市培育梯队，通过资本市场直接融资推动区域经济高质量发展。

据了解，在集成电路领域，尽管冲刺科创板的企业以IC设计领域居多，但在半导体设备领域，也已经有成功闯关，如中微公司和芯源微。

作为高新技术企业，靖江先锋半导体科技有限公司自成立以来，始终瞄准大规模集成电路关键零部件国产化目标，不断加大研发投入力度，实施智能车间改造，提升生产工艺水平，在激烈的市场竞争中成功突围。为了满足不断增长的市场需求，企业于2019年启动了新厂区建设，目前基建工程主体已经完工，预计6月份投产。

当天上午，在先锋半导体新厂区车间内，工作人员正在对新引进的五轴加工设备、表面激光落尘量测仪等设备进行调试。

靖江先锋半导体科技有限公司人事部经理朱燕娟表示，新厂区是从2019年2、3月份的时候开始筹建的，原来我们预计不受疫情的影响，会在4、5月份的时候整体搬迁，但是因为疫情的影响可能要延后一到两个月的时间，目前整个基础的建设已经基本完成，我们正在进行内部装修，还有一些国际上新的五轴加工中心设备的引进，后面自动生产处理线的工作，正在紧锣密鼓的进行。

谋取国际市场话语权

随着企业市场占有率的持续提升，企业现有厂区的生产能力已不能满足市场需及未来发展需要。2019年3月，企业产能扩充项目在开发区启动建设，计划投入2.5亿元打造全新的智能工厂，进一步谋取在国际市场的话语权。

朱燕娟 靖江先锋半导体科技有限公司人事部经理：本身老厂区占地面积比较小，原来整个不足一万平方，鉴于目前半导体行业一个飞速的发展状态，整个老厂区已经不能满足我们产能的发展，第二产业紧密性的要求越来越高，也要求我们进行持续不断的研发投入，所以我们进行了一个更大层面的改扩建工作，新的厂区面积是原来老厂区的六倍大，厂区投建后对我们行业的发展有很大的助推。

5纳米核心零部件

半导体行业空间广阔，但长久以来大量产品都依赖进口。近年来，随着国内市场需求增长和国家扶持政策的出台，国产半导体替代趋势明确。聚焦半导体刻蚀设备关键零部件生产， 先锋半导体在不断更新设备的基础上，搭建了专业研发队伍，通过加大技术攻关力度，逐步向高端客户和大规模项目发展突破，稳步提高市场占有率，确立了国内行业龙头地位。目前，企业新研发的用于5纳米芯片工艺的刻蚀机核心零部件已经研发成功，在新厂区投用后即将投入生产。

朱燕娟 靖江先锋半导体科技有限公司人事部经理：因为我们这个行业本身是取代国外进口的过程，芯片是国家大力发展的项目，要求我们不断精进的工作，原来我们国内生产64纳米的芯片，现在我们已经经过不断的研发投入，已经有越来越新的设备，更高端的人才进行这块的开发工作，已经从64一直进行国内5纳米的研发，这是在国际上也是了不起的工业进程。

打破垄断

下一步，企业也将始终坚持以智能制造为引领， 积极走“专精特新”之路,不断加大市场话语权，加快构建产业新优势，全力打造国内集成电路高端装备制造企业。

靖江先锋半导体科技有限公司人事部经理朱燕娟表示：未来我们是想把中国的刻蚀机带到世界去，参与国际竞争，就像原来我们的光刻机，被国外的阿斯麦尔垄断，现在我们的刻蚀机，中国能够参与国际竞争，应该是一个了不起的进程。未来的产能应该会比原来提高三到四倍。原来我们可能在1.5到2个亿，未来至少在3、4个亿。