​注册资本2041.5亿元 大基金二期正式成立!

​注册资本2041.5亿元 大基金二期正式成立!

业界期待已久的国家集成电路产业投资基金二期终于来了。

注册资本2041.5亿元 广纳各路资金

国家企业信用信息公示系统显示,10月22日,国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司(以下简称“大基金二期”)于北京市工商行政管理局正式注册成立。根据资料,大基金二期注册资本2041.5亿元人民币,楼宇光为法定代表人、董事长,丁文武为总经理。

大基金二期共有27位股东,中华人民共和国财政部出资额最高,认缴出资225亿元;其次为国开金融有限责任公司,认缴出资额220亿元;中国烟草总公司、上海国盛(集团)有限公司、浙江富浙集成电路产业发展有限公司、武汉光谷金融控股集团有限公司、重庆战略性新兴产业股权投资基金合伙企业(有限合伙)、成都天府国集投资有限公司等6家公司分别认缴150亿元。

这次多个地方资金直接或间接参与大基金二期,如浙江富浙集成电路产业发展有限公司由浙江省国资、绍兴市国资以及多个浙江省级/市级国有企业组成,武汉光谷金融控股集团有限公司则是由东湖高新区整合国有资本平台金融资源所成立,重庆战略性新兴产业股权投资基金合伙企业(有限合伙)、成都天府国集投资有限公司亦拥有地方国资背景。

除了上述提到的浙江、武汉、重庆、成都等省/市外,安徽、江苏、福建、广州、深圳、北京、上海等地的相关资金亦参与到大基金二期中来,如安徽省芯火集成电路产业投资合伙企业(有限合伙)、福建省国资集成电路投资有限公司、广州产业投资基金管理有限公司、深圳市深超科技投资有限公司等。

值得注意的是,大基金二期还引入了福建三安集团有限公司以及协鑫集团旗下的协鑫资本管理有限公司等企业资金;一期就已参与的紫光集团旗下北京紫光通信科技集团有限公司这次也为二期股东;国内三大运营商亦集体亮相,中国电信集团有限公司、中国联通旗下的联通资本投资控股有限公司、中国移动旗下的中移资本控股有限责任公司均为大基金二期股东。

综上可见,与一期的9位原始股东相比,大基金二期股东数量明显增多,其资金来源也更加广泛多样,除了国家机关部门以及国家级资金直接出资外,地方政府背景资金、央企资金、民企资金以及其他投资资金亦参与到二期基金中来。

二期主要面向装备材料领域

众所周知,大基金系为促进国家集成电路产业发展而设立的国家级战略性产业投资基金、名副其实的“国家队”。

据了解,大基金首期投资领域覆盖集成电路设计、制造、封装测试等全产业链,公开投资了二十多家半导体企业,包括多家A股上市公司,如中芯国际、上海华力、兆易创新、耐威科技、士兰微、长电科技、长川科技、景嘉微、汇顶科技等。非上市公司也包括江苏鑫华、上海华力、长江存储、中兴微电子、世纪金光、苏州国芯、沈阳拓荆等。

2018年10月,大基金一期管理机构华芯投资发文表示,截至2018年9月12日,大基金有效承诺额超过1200亿元,实际出资额达到1000亿元,投资进度与效果均好于预期,对《国家集成电路产业发展推进纲要》重点产品领域的覆盖率已达到40%左右。

华芯投资还表示,在大基金的引导带动下,国内集成电路行业投融资环境明显改善,基金设立和投资对缓解集成电路行业和骨干企业融资瓶颈问题效果显著。以集成电路行业中资金密集型特点最为显著的制造业为例,中国大陆集成电路制造业2014-2017年资本支出总额相比之前4年实现翻倍。

大基金首期基金现已投资完毕,今年9月3日,大基金相关人士在集成电路零部件峰会上透露,首期基金主要完成产业布局,二期基金的投资布局重点在集成电路装备材料领域。

具体而言,大基金二期规划方向包括将对在刻蚀机、薄膜设备、测试设备和清洗设备等领域已布局的企业保持高强度的持续支持,推动龙头企业做大做强;对照《纲要》继续填补空白,加快开展光刻机、化学机械研磨等核心设备以及关键零部件的投资布局等。

如今随着大基金二期正式注册成立,二期基金的投资布局亦即将启动,将有望进一步推动国内集成电路产业发展。

研究报告咨询:0755-82838930-2101

商务合作请加微信:18128855903(微信同号)

第三代半导体研究院落户江苏如皋

第三代半导体研究院落户江苏如皋

10月27日,中乌第三代半导体产业技术研究院成立并落户如皋。

据南通广播电视台报道,中乌第三代半导体产业技术研究院由乌克兰国家科学院(单晶研究院)、江苏省如皋高新区、江苏卓远半导体发起成立,研究院将联合中国、乌克兰、德国等产业专家,共同开展第三代半导体晶体制造智能装备、大功率用晶圆、功率芯片及器件、光电材料、激光晶体材料及其他功能性晶体材料和设备等关键技术研究。

半导体晶体与现代人类日常生活息息相关。“如皋抓住了未来‘智造业’的核心!”据中国工程院院士王子才介绍,智能制造发展的关键在于核心材料。以碳化硅为代表的第三代半导体是当前制作高温、高频、大功率、高压芯片最为理想材料之一,未来将广泛应用于5G通讯、新能源汽车、智能电网等智能制造领域,市场潜力巨大。

第三代半导体及激光设备制造产业集群在如皋初具规模。如皋市委书记张建华表示者,近年来,该市坚持把第三代半导体及智能制造产业作为重要战略性新兴产业加速布局,先后落户迅镭激光设备制造产业园、总投资300亿元的正威5G 新材料产业园,集聚了卓远半导体、海迪科光电科技、中科新源等一批优质企业,吸引了孙智江、张新峰等一批行业领军人才,建成第三代半导体产业技术研究院、第三代功率器件测试实验室、芯片级封装实验室、纳米压印实验室等一批高端研发平台。

如皋高新技术产业开发区是如皋发展高新技术产业的前沿阵地。如皋高新区管委会主任孙得利告诉交汇点记者,该区现拥有如皋第三代半导体产业研究院、中科大控温联合创新实验室、中乌第三代半导体产业技术研究院等平台,集聚苏州迅镭激光、北京浦丹光电等30余家光电显示、功率器件、第三代半导体设备等领域领军企业,规划了2平方公里的光电科技产业园、2平方公里的激光和智能制造产业园。

突破国产光刻胶量产难题 欣奕华实现负性光刻胶量产

突破国产光刻胶量产难题 欣奕华实现负性光刻胶量产

液晶显示器之所以能显现出色彩斑斓的画面,奥秘就在于液晶面板中的一层2微米厚的彩色薄膜,彩色薄膜颜色的产生就由光刻胶来完成,由于配方难调,“光刻胶”成为业界亟待突破的关键技术之一。10月22日,记者从经开区企业北京欣奕华科技有限公司(以下简称“欣奕华”)了解到,经过多年的行业累积和技术迭代,欣奕华在平板显示用负性光刻胶领域实现了量产,预计今年将有1000吨的光刻胶交付用户,约占国内市场的8%。

彩色光刻胶是利用光化学反应,经曝光、显影等工艺在基底上形成微细图形的电子材料,在手机、电脑、液晶电视、智能手表等产品中实现彩色显示,是显示工艺的重要原材料。光刻胶的研发关键在于其成分复杂、工艺技术难以掌握。光刻胶主要成分有色浆、单体、感光引发剂、溶剂以及添加剂等,开发所涉及的技术难题众多,要自主研发生产,技术难度非常之高。

走进欣奕华办公区光刻胶研发实验室,实验室被布置成黄光区,研发人员正在对光刻胶样品进行配比试验。“光刻胶的制备与使用需要在黄光区的环境下,如果是在普通的环境下,胶会因为光固化反应导致产品报废。”欣奕华企划室负责人陆金波介绍说。为了让记者更直观地感受光刻胶的用量,他打了个比方:生产50台55英寸的电视,需要红、绿、蓝光刻胶各约1千克,需要黑色光刻胶约0.67千克。

抢跑光刻胶赛道,欣奕华备战已久。陆金波说,在平板显示产业迅猛发展、市场对光刻胶等相关上游材料需求量与日俱增的背景下,研发团队自2006年起就开始了在该领域的探索。随后,欣奕华成立,把以彩色光刻胶为代表的显示材料领域作为企业聚焦和产品研发的重点领域之一。在2014年,实现光刻胶首批次出货。

通过长期的摸索和自主创新,欣奕华具备年产3000吨以上光刻胶的能力,掌握了产品开发、工厂设计、生产管理、品质管控、构建稳定供应链和物流体系等方面的能力与技术,成为国内首家可实现光刻胶大规模量产出货的企业。欣奕华在该领域的突破有助于我国逐步打破彩色光刻胶主要依赖进口的被动局面,还能通过科研协同及其成果的高效转化,为本土液晶面板企业的长足发展降本增效、保驾护航。

经开区年度工作报告中提出,要做“尖”新一代信息技术产业集群,在关键环节、核心技术、标准制定上超前布局。欣奕华在光刻胶这条科创之路上抢跑固然能为企业自身不断创造新的增长极,但企业的可持续发展依然有赖于国内相关产业生态的协同发展,大家一起跑起来,才能不断提升技术、工艺与产品水平,实现我国关键电子化学品材料的国产化,完善我国泛半导体产业链,满足国家和重点产业的需求。

总投资150亿元的徐州鑫晶半导体大硅片项目预计年底投产

总投资150亿元的徐州鑫晶半导体大硅片项目预计年底投产

根据徐州市国盛控股集团有限公司(以下简称“国盛集团”)官方消息,国盛集团党委副书记、总经理赵丽近日带队赴徐州鑫晶半导体大硅片项目(以下简称“鑫晶大硅片项目”)调研,透露了鑫晶大硅片项目最新进展。

据了解,鑫晶大硅片项目规划建设国际先进的8英寸、12英寸半导体大硅片长晶及切磨抛生产线,规划产能各30万片/月。目前,项目主体厂房已全部完工,正在进行生产设备安装,预计2019年底投产。

项目建成后,将打破国外对我国集成电路关键原材料的长期垄断,从源头上对我国集成电路制造产业的发展提供关键支撑,具有重要战略意义。

国盛集团表示,为支持项目的建设和发展,在国盛集团的领导下,徐州市产业引导基金与政府投资基金、金融资本和产业资本等共同出资设立总规模44.1亿元的专项基金,并已全部投入鑫晶大硅片项目。

根据此前报道,鑫晶大硅片项目是由协鑫集团与国家集成电路产业投资基金合作在半导体材料领域进行的前瞻性布局,总投资150亿元,一期投资94.5亿元,是协鑫集团在江苏鑫华半导体项目投产之后,在徐州布局的又一半导体材料产业链延伸项目。

填补日本管制缺口 韩国自比利时进口光阻剂暴增近4.5倍

填补日本管制缺口 韩国自比利时进口光阻剂暴增近4.5倍

根据韩国媒体报导,三星电子、SK海力士等韩国半导体企业,目前从比利时引进半导体光阻剂(photoresist),顺利填补日本出口限制导致的原料缺口。韩国产业研究院调查报告指出,有77%的韩国企业认为,不会受日韩贸易冲突波及。

根据《ETnews》报导,日本对韩国加强出口管制已超过100天。韩国关税厅根据统计指出,2019年第3季从比利时进口的光阻剂金额为459.6万美元,相较2018年同期的84.1万美元,高出446%。

值得注意是,从7月开始,比利时制光阻剂进口量急剧增加,相较6月进口金额仅6.6万美元,7月日本对韩国出口限制后,每个月进口金额都超过100万美元。

报导指出,日本将光阻剂列入对韩国的限制产品之后,三星和SK海力士等企业就积极争取自比利时进口。虽然,相关韩国企业不愿证实比利时光阻剂原料的来源,但据了解,光阻剂应是来自日本化学企业JSR与比利时研究中心IMEC的合资公司RMQC。

韩国关税厅公布的光阻剂进口金额,也包含通用半导体原料,但大多是EUV技术专用原料。外界解读,比利时的光阻剂原料已补足韩国半导体企业对这类产品需求的缺口。

根据统计,2019年第3季,韩国从比利时进口的光阻剂重量约0.9公吨,若换算成体积,相当于250~260加仑。业界透露,三星电子每个月需约80加仑EUV用光阻剂,SK海力士则尚未正式引进EUV技术制程,因此每个月只需10加仑以下用量。有分析认为,韩国目前进口库存量已能避免日韩贸易纠纷带来的影响。

韩国自比利时进口光阻剂暴增近4.5倍 预估足以填补日本管制缺口

韩国自比利时进口光阻剂暴增近4.5倍 预估足以填补日本管制缺口

根据韩国媒体报导,三星电子、SK海力士等韩国半导体企业,目前从比利时引进半导体光阻剂(photoresist),顺利填补日本出口限制导致的原料缺口。韩国产业研究院调查报告指出,有77%韩国企业认为,不会受日韩贸易冲突波及。

根据《ETnews》报导,日本对韩国加强出口管制已超过100天。韩国关税厅根据统计指出,2019年第3季从比利时进口的光阻剂金额为459.6万美元,相较2018年同期的84.1万美元,高出446%。特别的是,从7月开始,比利时制光阻剂进口量急剧增加,相较6月进口金额仅6.6万美元,7月日本对韩国出口限制后,每个月进口金额都超过100万美元。

报导指出,日本将光阻剂列入对韩国的限制产品之后,三星和SK海力士等企业就积极争取自比利时进口。

虽然相关韩国企业不愿证实比利时光阻剂原料的来源,但据了解,光阻剂应是来自日本化学企业JSR与比利时研究中心IMEC的合资公司RMQC。

韩国关税厅公布的光阻剂进口金额,也包含通用半导体原料,但大多是EUV技术专用原料。外界解读,比利时的光阻剂原料已补足韩国半导体企业对这类产品需求的缺口。

根据统计,2019年第3季,韩国从比利时进口的光阻剂重量约0.9公吨,若换算成体积,相当于250~260加仑。

业界透露,三星电子每个月需约80加仑EUV用光阻剂,SK海力士则尚未正式引进EUV技术制程,因此每个月只需10加仑以下用量。有分析认为,韩国目前进口库存量已能避免日韩贸易纠纷带来的影响。

北方最大半导体材料基地将于年底主体封顶

北方最大半导体材料基地将于年底主体封顶

10月24日, 2019年下半年德州市协同发展督查评议到德州经济技术开发区,实地察看了有研集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目。

据一期项目土建负责人介绍,项目一期3个主要车间正在进行二层主体施工和机电预留预埋,目前三个主厂房都有30%到40%的二层已经封顶。此外,专用变电站、尚德八路等工程均按计划推进。项目计划2019年底主体封顶,2020年3月底完成机电安装和动力设施调试,2020年6月底完成工艺设备调试并试产。

有研集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目由有研科技集团、日本RST株式会社控股的有研半导体材料有限公司出资,山东有研半导体材料有限公司建设。有研科技集团是国资委管理的96家央企之一和国内有色金属行业规模最大的综合性研究开发机构,在国内唯一掌握18英寸硅单晶技术、12英寸硅片技术,率先实现8英寸硅片商业化,12—18英寸硅单晶产品可满足全球最先进的半导体设备应用要求。

项目总投资约80亿元,分两期建设,德州政府网指出,项目一期占地326亩,建设直拉车间厂房、硅片厂房、动力中心等,搬迁北京现有的6英寸、8英寸硅晶圆、8英寸单晶硅生产线并扩大产能,形成年产8英寸硅片276万片、6英寸硅片180万片、12—18英寸大直径硅单晶300吨的生产能力。二期项目建设12英寸硅晶圆中试线科研成果产业化基地,年产360万片12英寸硅片。

据悉,有研半导体项目是德州东部城区创新组团的龙头项目,已被山东省政府列为2019年省级重点“头号”项目。据齐鲁网报道,目前该项目规模也是目前北方最大的半导体材料基地。

这家半导体特种气体厂商科创板IPO成功过会

这家半导体特种气体厂商科创板IPO成功过会

10月23日,上交所披露科创板上市委2019年第36次审议会议结果公告,特种气体供应商广东华特气体股份有限公司(以下简称“华特股份”)首发通过。

4月12日,华特股份首次公开发行股票并在科创板上市的申请获上交所正式受理。根据招股书,华特股份本次拟公开发行新股数量不超过3000.00万股,占发行后总股本比例不低于25%,拟募集资金4.5亿元用于气体中心建设及仓储经营项目等。

实现近20种产品的进口替代

资料显示,华特股份成立于1999年,2017年曾于新三板挂牌上市,2018年4月终止挂牌。其主营业务以特种气体的研发、生产及销售为核心,辅以普通工业气体和相关气体设备与工程业务,其生产销售的的特种气体主要包括高纯六氟乙 烷、高纯四氟化碳、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、光刻气等约230余种,普通气体10余种。

据介绍,特种气体是随着电子行业的兴起而在工业气体门类下逐步细分发展起来的新兴产业,广泛应用于集成电路、显示面板、光伏能源、光纤光缆、新能源汽车、航空航天、环保、医疗等领域。目前在我国的集成电路、显示面板、光伏能源、光纤光缆等高端应用领域中,海外大型气体公司占据了80%以上的市场份额。

华特股份的高纯六氟乙烷、高纯四氟化碳、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、光刻气等主要产品均面向半导体领域,报告期内(2016年、2017年、2018年、2019年1-6月)半导体领域在特种气体收入中的占比分别为65.57%、62.73%、59.97%和65.47%,是其特种气体最主要的应用领域。

招股书显示,华特股份是国内首家打破高纯六氟乙烷、高纯三氟甲烷、高纯八氟丙烷、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯一氧化氮、Ar/F/Ne混合气、 Kr/Ne混合气、Ar/Ne混合气、Kr/F/Ne混合气等产品进口制约的气体公司,并实现了近20种产品的进口替代。

此外,华特股份的Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne 和 Kr/F/Ne等4种混合气于2017年通过全球最大的光刻机供应商ASML公司的产品认证,目前华特股份是我国唯一通过ASML公司认证的气体公司,亦是全球仅有的上述4个产品全部通过其认证的四家气体公司之一。

招股书还指出,华特股份实现了对国内8英寸以上集成电路制造厂商超过80%的客户覆盖率,解决了中芯国际、华虹宏力、长江存储、武汉新芯、华润微电子、台积电(中国)、和舰科技、士兰微电子、柔宇科技、京东方等客户多种气体材料制约,并进入了英特尔、美光科技、德州仪器、海力士等半导体企业供应链体系。

半导体领域特种气体仍是未来发展方向

招股书表示,华特股份是我国特种气体国产化的先行者,并强调其主要特种气体产品面向半导体领域,但报告期内其食品级氧化亚氮收入增长较快,审核中心意见问及半导体领域是否为其未来发展方向。

对此,华特股份回复表示,公司的业务开拓重心、技术研发方向均主要面向半导体领域,食品级氧化亚氮则是核心技术在食品消费领域延伸应用形成的产品,公司未来发展方向仍是半导体领域特种气体。

华特股份进一步指出,食品级氧化亚氮仅作为为公司半导体特种气体产品的补充,业务开拓方面,尽管受限于产能饱和、产品认证周期、下游产业投产等因素,半导体领域特种气体收入增长较慢,但公司的多项经营举措均围绕半导体领域特种气体展开。此外,在技术研发方面,半导体领域是公司的主要研发方向。

这次科创板上市,华特股份拟募集资金4.5亿元,扣除发行费用的净额将按轻重缓急顺序投资于气体中心建设及仓储经营项目、电子气体生产纯化及工业气体充装项目、智能化运营项目、补充流动资金等四大项目。

其中,气体中心建设及仓储经营项目主要为电子特气产品,电子气体生产纯化及工业气体充装项目也涉及对氟碳类气体如四氟化硅、六氟乙烷等电子气体,主要应用于集成电路、新型显示、太阳能电池等新兴产业的外延、刻蚀、掺杂、气相沉积等工艺。

尽管华特股份曾因报告期内研发投入占比较低、核心技术产品收入占比例较低等问题受到质疑,但如今随着科创板首发通过,将有望进一步推动其加大研发投入,助力半导体领域特种气体国产化进程加速。

南大光电拟加码光刻胶产业 斥资6亿建材料配套项目

南大光电拟加码光刻胶产业 斥资6亿建材料配套项目

光刻胶概念股南大光电10月23日公告,拟投资新建光刻胶材料以及配套原材料项目。

光刻胶项目是南大光电最大的看点。在此前A股光刻胶概念炒作中,公司股票也受到了资金追捧。此番,南大光电宣布加码光刻胶产业值得关注。

拟投建光刻胶材料配套项目

南大光电公告称,公司与宁波经济技术开发区管理委员会签署了《投资协议书》。按照协议,上市公司拟在宁波经济技术开发区投资开发高端集成电路制造用各种先进光刻胶材料以及配套原材料和底部抗反射层等高纯配套材料,形成规模化生产能力,建立配套完整的国产光刻胶产业链。

项目计划总投资6亿元,预计总用地50亩。项目完全达产后,预计实现约10亿元的年销售额,年利税预计约2亿元。

资料显示,南大光电主要从事高纯电子材料研发、生产和销售,通过承担国家重大技术攻关项目并实现产业化。目前,公司形成MO源、电子特气、ALD/CVD前驱体材料等业务板块。

《每日经济新闻》记者注意到,2017年,南大光电承担了集成电路芯片制造用关键核心材料之一的“193nm光刻胶材料的研发与产业化项目”(以下简称193nm光刻胶项目)。

南大光电2019年半年报表示,公司组建了包括高级光刻胶专业人才的独立研发团队,建成1500平方米的研发中心和百升级光刻胶中试生产线。目前,南大光电“193nm光刻胶及配套材料关键技术研究项目”的研发工作已经完成,正在等待验收。同时,公司设立了光刻胶事业部,并成立了全资子公司宁波南大光电材料,推进“193nm光刻胶项目”的落地实施。在2019年半年报中,南大光电预计其将在2019年底在宁波建成一条光刻胶生产线。

对于此番投建的项目,南大光电特别在公告中强调,项目与公司正在推进的“193nm光刻胶项目”系两个独立的项目。公司称,投建新项目是为加大对先进光刻胶材料以及配套原材料的建设。

曾因光刻胶概念股身份受捧

光刻胶被认为是半导体光刻领域必不可少的关键材料。光刻胶的质量和性能直接决定集成电路的性能、良率。广发证券曾表示,伴随着先进节点所需光刻胶分辨率的提升以及多次图形化技术的应用,光刻胶的成本占比以及市场规模呈现不断提升趋势,根据国际半导体产业协会的数据,2018年光刻胶占晶圆制造材料比例约为5.4%,对应全球半导体光刻胶市场总规模为17.3亿美元,预计2019年市场规模可达17.7亿美元。 

由于半导体光刻胶技术壁垒很高,供应厂商目前主要集中在美国和日本。目前来看,国内仅有晶瑞股份、科华微电子、南大光电、容大感光、上海新阳等企业在进行半导体光刻胶生产与研发。

《每日经济新闻》记者注意到,今年下半年,日本与韩国发生贸易摩擦,日本对韩国进行出口限制,其中便包含光刻胶材料。在此情况下,A股相关光刻胶概念股也一度受到资金追捧,这便包括了南大光电。7月中旬,公司股价曾连续涨停,8月15日~9月5日,公司股价在16个交易日里累计上涨64.70%。

总投资6亿元  南大光电拟在宁波投建光刻胶材料项目

总投资6亿元 南大光电拟在宁波投建光刻胶材料项目

10月23日,电子材料供应商南大光电发布公告,其与宁波经济技术开发区管理委员会签署了《投资协议书》,将加大对先进光刻胶材料以及配套原材料的建设。

根据公告,南大光电拟在宁波经济技术开发区投资开发高端集成电路制造用各种先进光刻胶材料以及配套原材料和底部抗反射层等高纯配套材料,形成规模化生产能力,建立配套完整的国产光刻胶产业链。该项目计划总投资6亿元人民币,预计总用地50亩,项目完全达产后,预计实现约10亿元人民币的年销售额,年利税预计约2亿元人民币。

南大光电表示,本协议的实施符合公司发展战略,有利于公司建立配套完整的国产光刻胶产业链,提升公司竞争力和盈利能力,对公司进一步树立优秀电子材料供应商的发展定位有极大的推动作用。

公告还指出,本次签署的《投资协议书》所涉及的“先进光刻胶材料以及配套原材料和底部抗反射层等高纯配套材料”项目,与公司正在推进的“193nm光刻胶产品的开发与产业化”项目系两个独立的项目,目前“193nm光刻胶产品的开发与产业化项目”顺利推进。