科友半导体产学研聚集区项目在哈尔滨新区开工

科友半导体产学研聚集区项目在哈尔滨新区开工

7月3日,黑龙江省百大项目、由哈尔滨新区和哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司联合打造的哈尔滨新区科友半导体产学研聚集区项目开工建设。

科友半导体公司是新区“黄金30条”政策实施后,首个享受新区通过股权投入方式给予重大支持的企业。项目的实施,将打破第三代半导体领域的国际垄断和技术封锁,大幅提高高端装备自主化、国产化水平,大力提升在国际和行业内的话语权和核心竞争力。

哈尔滨科友半导体产学研聚集区占地面积4.5万平方米 ,一期计划总投资10亿元,项目全部达产后,最终形成年产高导晶片近 10万片、高纯半绝缘晶体 1000 公斤的产能,PVT-SIC 晶体生长成套设备年产销200台套。

聚集区主要建设中俄第三代半导体研究院、中外联合技术创新中心、科友半导体衬底制备中心、科友半导体高端装备制造中心、国际孵化基地、科友半导体产品检验检测中心、人工宝石展览馆等项目。通过依托先进科技成果和自有知识产权,汇聚全球顶尖人才,围绕国内快速发展第三代半导体新材料与装备的需求,针对半导体高端装备和衬底制造,进行包括技术开发、装备设计、衬底制造等在内的全产业链科技成果转化及产业化应用研究集聚区,持续在第三代半导体关键装备和衬底制造上取得重大突破,打造形成第三代半导体研发及装备制造的世界技术高地,形成半导体产业高端装备和衬底制造的新动能。

2019年12月1日,哈尔滨新区“黄金 30 条”正式颁布施行。科友半导体公司作为在新区实现产业化的具有国际先进水平的高新技术企业,率先享受到了新区通过股权投入方式给予支持的政策,使科友半导体公司迅速壮大,直接进入辅导上市培育期。

年初以来,哈尔滨新区牢牢抓住“政策窗口期”和“发展机遇期”,坚持把重大项目、有效投入牢牢抓在手上,作为工作的主旋律,经济企稳回升态势明显,生产生活秩序加快恢复,招商引资不断刷出“新纪录”,项目建设持续跑出“加速度”。通过“一业一案、一企一策”精准施策,推动项目应开尽开、能开快开,省百大项目和市重点产业项目已开复工49个;通过不见面“云签约”和发布政策集中签约,已引进项目52个,协议引资额1038亿元。新区建设取得明显成效,步入发展新阶段。

中科九微半导体智能制造项目或6月底已实现全部投产

中科九微半导体智能制造项目或6月底已实现全部投产

据南充日报近日报道,中科九微半导体设备智能制造项目所有厂房已经建设完工,306台生产设备基本到位并投入生产,6月底实现全部投产。

中科九微半导体设备智能制造项目是中国科学院微电子研究所、九川科技有限公司等联合投资的高新技术项目,总投资28亿元,占地约290亩,将生产全磁悬浮洁净获得设备、洁净获得设备、半导体系统集成模块等用于半导体加工制作过程中的设备及核心部件。该项目达产后预计实现产值50亿元,解决就业2000人,同时将完善集成电路高端装备产业链,对促进产业升级具有重要意义。

据了解,中科九微半导体设备智能制造项目总投资28亿元,占地约290亩,将生产全磁悬浮洁净获得设备、半导体芯片生长室、洁净获得设备、半导体系统集成模块等用于半导体加工制作过程中的设备及核心部件。该项目于2018年9月3日签约,同年12月24日进场施工;今年1月初,项目进入试生产。

据南充高新技术产业园区管委会企业服务经理蒲大平此前介绍,中科九微半导体设备智能制造项目原计划两年半完成,基于市场需求井喷式增长、许多核心零部件面临断供等因素,公司决定将建设周期缩短为一年。

中科九微成立于2018年9月7日,由九川科技集团、中国科学院微电子所等共同设立,是中国科学院微电子所和九川科技集团合作的重点项目,其中中国科学院微电子所占股20%。

中科九微半导体智能制造项目或6月底已实现全部投产

中科九微半导体智能制造项目或6月底已实现全部投产

据南充日报近日报道,中科九微半导体设备智能制造项目所有厂房已经建设完工,306台生产设备基本到位并投入生产,6月底实现全部投产。

中科九微半导体设备智能制造项目是中国科学院微电子研究所、九川科技有限公司等联合投资的高新技术项目,总投资28亿元,占地约290亩,将生产全磁悬浮洁净获得设备、洁净获得设备、半导体系统集成模块等用于半导体加工制作过程中的设备及核心部件。该项目达产后预计实现产值50亿元,解决就业2000人,同时将完善集成电路高端装备产业链,对促进产业升级具有重要意义。

据了解,中科九微半导体设备智能制造项目总投资28亿元,占地约290亩,将生产全磁悬浮洁净获得设备、半导体芯片生长室、洁净获得设备、半导体系统集成模块等用于半导体加工制作过程中的设备及核心部件。该项目于2018年9月3日签约,同年12月24日进场施工;今年1月初,项目进入试生产。

据南充高新技术产业园区管委会企业服务经理蒲大平此前介绍,中科九微半导体设备智能制造项目原计划两年半完成,基于市场需求井喷式增长、许多核心零部件面临断供等因素,公司决定将建设周期缩短为一年。

中科九微成立于2018年9月7日,由九川科技集团、中国科学院微电子所等共同设立,是中国科学院微电子所和九川科技集团合作的重点项目,其中中国科学院微电子所占股20%。

中科九微半导体智能制造项目或6月底已实现全部投产

中科九微半导体智能制造项目或6月底已实现全部投产

据南充日报近日报道,中科九微半导体设备智能制造项目所有厂房已经建设完工,306台生产设备基本到位并投入生产,6月底实现全部投产。

中科九微半导体设备智能制造项目是中国科学院微电子研究所、九川科技有限公司等联合投资的高新技术项目,总投资28亿元,占地约290亩,将生产全磁悬浮洁净获得设备、洁净获得设备、半导体系统集成模块等用于半导体加工制作过程中的设备及核心部件。该项目达产后预计实现产值50亿元,解决就业2000人,同时将完善集成电路高端装备产业链,对促进产业升级具有重要意义。

据了解,中科九微半导体设备智能制造项目总投资28亿元,占地约290亩,将生产全磁悬浮洁净获得设备、半导体芯片生长室、洁净获得设备、半导体系统集成模块等用于半导体加工制作过程中的设备及核心部件。该项目于2018年9月3日签约,同年12月24日进场施工;今年1月初,项目进入试生产。

据南充高新技术产业园区管委会企业服务经理蒲大平此前介绍,中科九微半导体设备智能制造项目原计划两年半完成,基于市场需求井喷式增长、许多核心零部件面临断供等因素,公司决定将建设周期缩短为一年。

中科九微成立于2018年9月7日,由九川科技集团、中国科学院微电子所等共同设立,是中国科学院微电子所和九川科技集团合作的重点项目,其中中国科学院微电子所占股20%。

中科九微半导体智能制造项目或6月底已实现全部投产

中科九微半导体智能制造项目或6月底已实现全部投产

据南充日报近日报道,中科九微半导体设备智能制造项目所有厂房已经建设完工,306台生产设备基本到位并投入生产,6月底实现全部投产。

中科九微半导体设备智能制造项目是中国科学院微电子研究所、九川科技有限公司等联合投资的高新技术项目,总投资28亿元,占地约290亩,将生产全磁悬浮洁净获得设备、洁净获得设备、半导体系统集成模块等用于半导体加工制作过程中的设备及核心部件。该项目达产后预计实现产值50亿元,解决就业2000人,同时将完善集成电路高端装备产业链,对促进产业升级具有重要意义。

据了解,中科九微半导体设备智能制造项目总投资28亿元,占地约290亩,将生产全磁悬浮洁净获得设备、半导体芯片生长室、洁净获得设备、半导体系统集成模块等用于半导体加工制作过程中的设备及核心部件。该项目于2018年9月3日签约,同年12月24日进场施工;今年1月初,项目进入试生产。

据南充高新技术产业园区管委会企业服务经理蒲大平此前介绍,中科九微半导体设备智能制造项目原计划两年半完成,基于市场需求井喷式增长、许多核心零部件面临断供等因素,公司决定将建设周期缩短为一年。

中科九微成立于2018年9月7日,由九川科技集团、中国科学院微电子所等共同设立,是中国科学院微电子所和九川科技集团合作的重点项目,其中中国科学院微电子所占股20%。

打破国外垄断!国产高能离子注入机重大突破

打破国外垄断!国产高能离子注入机重大突破

据新华社报道,由中国电子科技集团旗下电科装备自主研制的高能离子注入机成功实现百万电子伏特高能离子加速,性能达国际主流先进水平。

据悉,离子注入机是芯片制造中至关重要的核心关键装备。集成电路领域离子注入机包括三种机型,大束流离子注入机、中束流离子注入机和高能离子注入机。

目前世界范围内以集成电路领域离子注入机为主要业务的公司共有6家,分别为美国AMAT/Varian和Axcelis、日本SMIT和Nissin、中国台湾地区AIBT、以及国内电科装备。

其中,Axcelis的前身为Eaton,在高能离子注入机领域占据了近乎垄断地位。

电科装备离子注入机总监张丛表示,电科装备将在年底前推出首台高能离子注入机,实现我国芯片制造领域全系列离子注入机自主创新发展,并将为全球芯片制造企业提供离子注入机成套解决方案。

官网信息显示,中国电子科技集团有限公司成立于2002年3月,主要从事国家重要军民用大型电子信息系统的工程建设,重大电子装备、软件、基础元器件和功能材料的研制、生产及保障服务。

据悉,电科装备在离子注入机领域具有较好的技术积淀,此前已连续突破中束流、大束流、特种应用及第三代半导体等离子注入机产品研发及产业化难题,产品广泛服务于全球知名芯片制造企业。

总投资20亿元的半导体先进装备中心项目落户江西赣州

总投资20亿元的半导体先进装备中心项目落户江西赣州

6月28日,江西赣州经开区举行集中签约仪式,现场签约16个项目,总投资达73.8亿元,无锡迪渊特科技有限公司半导体先进装备中心项目在仪式上正式签约。

据赣州经开区微新闻指出,无锡迪渊特科技有限公司半导体先进装备中心项目总投资20亿元,建设半导体设备再制造及设备贸易、辅助设备研发、生产制造及销售等项目。

无锡迪渊特科技有限公司总经理王迪杏表示,迪渊特科技联合5家半导体设备再制造领域的行业龙头,组成产业联盟到经开区投资半导体设备中心项目,今后,将吸引更多的企业到经开区投资发展,着力建成全国知名半导体先进装备和材料集散基地。

据悉,赣州经开区下一步将重点围绕芯片设计、晶圆制造、芯片封测、装备制造和贸易等企业招商,全力打造半导体全产业链集群。

资料显示,无锡迪渊特科技有限公司成立于2015年4月20日,注册资本1000万元,经营范围包括电子产品、计算机软件的研究、开发、销售、维护、技术转让、技术咨询及技术服务;计算机及辅助设备、通用设备、通讯设备(不含卫星地面接收设施和发射装置)的销售、维修及技术服务等业务。

北方华创近三成营收投入研发 业绩连续四年高增长

北方华创近三成营收投入研发 业绩连续四年高增长

一代产品依赖于一代工艺,一代工艺依赖于一代装备,好装备才能造出尖端产品。目前火热的半导体领域尤其如此。

北方华创就是一家专门从事基础电子产品的研发、生产、销售和技术服务的企业,主要产品为电子工艺装备和电子元器件,广泛应用于集成电路、先进封装、锂离子电池、晶体器件、航空航天、自动控制等高、精、尖特种行业领域。

截至目前,北方华创是国内产品线最为全面的电子工艺装备供应商,因而也不断助力国内半导体行业加速国产化。

作为国内主流高端电子工艺装备供应商,北方华创通过研发掌握了系列核心技术,形成了以刻蚀技术、薄膜技术、清洗技术等为主的核心技术体系,从而奠定了行业先进的技术基础。

为了保持技术先进,公司持续进行研发投入。2019年,研发投入接近当年营业收入的30%。

近四年,北方华创实现了经营业绩高速增长。2016年至2019年,公司实现的归属于上市公司股东的净利润(简称净利润)从0.93亿元增长至3.09亿元,三年增长2.32倍。

二级市场上,北方华创股价强势上行。近一年,其股价上涨逾百元,总市值增长了530亿元。

股价年涨百元市盈率790倍

持续、稳步上行,北方华创在二级市场上走出了自己的牛市。

6月24日,端午节前最后一个交易日,北方华创的股价走势再现“稳”的特色。早盘开盘价为169.20元,盘中最高为173.80元,最终收报169.04元,涨幅为0.70%。全天成交15.61亿元,较前一个交易日的16.74亿元略有萎缩,换手率2%,跟前一个交易日的2.20%相差不大。公司动态市盈率约为790倍。

K线图显示,近年来,北方华创股价呈现持续上行趋势。去年第一个交易日,公司股价38.31元/股,当日涨幅为1.46%。去年6月24日,股价上涨至66.90元/股,去年最后一个交易日,股价为88元/股,一年间,股价翻了一倍多。今年以来,股价加速上扬,虽然期间有所震荡,但上涨趋势不改。今年5月19日,股价达到历史巅峰,当日股价涨停,为183.79元/股。历经20多天调整,股价最低为142.90元/股,随即再度向上。

如果以去年6月24日股价为参照,一年之间,股价上涨了102.14元,涨幅约为152.68%。

截至今年6月24日,北方华创总市值达836.95亿元,较去年同期的306.40亿元增长530.55亿元。

与二级市场上股价大幅上涨、市值大幅增加相对应的是,北方华创也有着不错的基本面。

年报显示,2019年,公司实现营业收入40.58亿元、净利润3.09亿元,同比分别增长22.10%、32.24%。今年一季度,公司实现营业收入9.38亿元,同比增长32.49%,净利润0.26亿元,同比增长33.01%。

实际上,2016年以来,公司经营业绩持续高速增长。2016年至2018年,公司实现的营业收入为16.22亿元、22.23亿元、33.24亿元,同比增长32.95%、37.01%、49.53%。同期净利润为0.93亿元、1.26亿元、2.34亿元,同比增长46.51%、35.21%、86.05%。

北方华创前身是七星电子,2016年,七星电子与北方微电子实施战略重组。当年,公司通过发行股份收购北方微电子,同时配套募资9.24亿元。这些募资中,扣除发行费用后剩余9.12亿元,3.39亿元用于补充流动资金,5.73亿元用于微电子装备扩产项目建设。截至去年底,该项目投资进度为74.61%,去年实现净利润1.29亿元,达到了预期效益。

各路机构也看好北方华创的发展前景。2016年、2019年,公司两次定增募资,国家集成电路产业投资基金股份有限公司(简称大基金)两次参与认购,合计出资15亿元。目前,大基金持有北方华创9.94%股权,为其第三大股东。

系列核心技术行业领先

股价与业绩“双牛”,是北方华创核心竞争力的释放。

北方华创主要产品为电子工艺装备和电子元器件,是国内主流高端电子工艺装备供应商,也是重要的高精密、高可靠电子元器件生产基地。公司电子工艺装备主要包括半导体装备、真空装备和锂电装备,广泛应用于集成电路、半导体照明、先进封装、光伏、新型显示、真空电子、新材料、锂离子电池等领域。电子元器件主要包括电阻、电容、晶体器件、微波组件等,广泛应用于航空航天、精密仪器仪表、自动控制等高、精、尖特种行业领域。公司称,经过多年发展,其已经建立了有竞争力的产品体系。

众所周知,电子信息产业应用市场发展较快,电子产品、技术更新迭代较快,这要求电子工艺装备持续进行技术演进及产品更新。在这方面,依托研发,北方华创也形成了核心技术优势。

据披露,北方华创积累了大量电子工艺装备及电子元器件核心技术,形成了以刻蚀技术、薄膜技术、清洗技术、精密气体计量及控制技术、真空热处理技术、晶体生长技术和高可靠电子元器件技术等为主的核心技术体系,奠定了行业先进的技术基础。

产品线最为丰富是北方华创的另一竞争力,产品体系覆盖半导体、材料生长及热处理、新能源、航空航天、铁路和船舶等领域。在集成电路领域,公司产品覆盖刻蚀、成膜、氧化/扩散、清洗、流量计五大类,已有30多种成熟设备在国内集成电路生产线上量产使用。在刻蚀产品方面,硅刻蚀设备已在多个客户端量产应用、ICP刻蚀进入ICRD14nm产线、原子层刻蚀设备实现客户端工艺验证。在成膜设备方面,公司是国产PVD设备领先者,28nmHardmaskPVD和AlPadPVD成为baseline机台。在氧化扩散方面,公司14nm单片退火系统进入主流代工厂、立式氧化炉成为客户POR机台。在清洗设备方面,公司28nm设备率先进入国际供应链体系。流量计产品销售逐年上涨,累计销量超35万台。

装备是集成电路产业的基石,是拉动集成电路技术创新的引擎,集成电路产业的进步离不开装备的不断更新换代。北方华创称,作为中国集成电路高端工艺装备制造企业的先行者,公司立足于产业链上游,不断进行技术创新,助力中国半导体等产业加速国产化。

持续加码研发投入是北方华创技术持续演进的重要保证。2010年上市以来,公司研发投入逐年增长,已经从2010年的0.15亿元增长至2019年的11.37亿元,9年增长了74.80倍。同期,公司营业收入增长了4.01倍。2019年,公司研发投入占营业收入的28.03%,接近三成。

截至2019年末,北方华创累计申请专利4288项,其中申请发明专利2834项,累计授权专利2369项,其中授权发明专利1476项。

A股半导体队伍将再添一波新军

A股半导体队伍将再添一波新军

半导体企业上市热潮持续高涨,6月份除了中芯国际科创板上市申请获受理并闪电过会外,微导纳米、上海合晶等半导体企业的上市申请亦已获受理,近日又有多家半导体企业披露了上市进程,A股的半导体队伍有望再添一波新军。

根据上海证券交易所,6月24日,北京华卓精科科技股份有限公司(以下简称“华卓精科”)、气派科技股份有限公司(以下简称“气派科技”)两家企业的科创板上市申请获受理。

此外,中国证监会信息显示,易兆微电子(杭州)股份有限公司(以下简称“易兆微电子”)、东芯半导体股份有限公司(以下简称“东芯半导体”)、上海芯导电子科技股份有限公司(以下简称“芯导电子”)等企业近日已进入上市辅导期,正式启动上市征程。

华卓精科、气派科技科创板上市申请获受理

No.1 华卓精科

6月24日,华卓精科的科创板上市申请获受理。根据招股书,华卓精科本次拟公开发行3200 万股,占发行后总股本比例不低于25%,拟募集资金10.35亿元,扣除发行费用后将投资于半导体装备关键零部件研发制造项目、超精密测控产品长三角创新与研发中心、集成电路装备与零部件产品创新项目、光刻机超精密位移测量及平面光栅测量技术研发项目、企业发展储备资金。

资料显示,华卓精科的主营业务为光刻机双工件台、超精密测控装备整机以及关键部件等衍生 产品的研发、生产以及销售和技术服务。该公司以光刻机双工件台为核心,并以该产品的超精密测控技术为基础,开发了晶圆级键合设备、激光退火设备等整机产品,以及精密运动系统、隔振器和静电卡盘等部件衍生产品。

据招股书介绍,华卓精科为国内首家可自主研发并实现商业化生产的光刻机双工件台供应商,其DWS系列光刻机双工件台可实现优于4.5nm的运动平均偏差,已于2020年4月向上海微电子发货;其DWSi系列光刻机双工件台运动平均偏差优于2.5nm,可应用于ArFi光刻机,有望于2021年实现生产。

2017年、2018年2019年,华卓精科的营业收入金额分别为5410.22万元、8570.92万元、1.21亿元,复合增长率为49.53%;归母净利润分别为1253.21万元、1512.36万元、2087.24万元,复合增长率为 29.05%。

值得一提的是,2017年、2018年、2019年华卓精科的研发投入占营业收入比例分别为30.75%、96.33%、117.24%,最近三年累计研发投入占最近三年累计营业收入比例为92.42%。

No.2 气派科技

6月24日,气派科技的科创板上市申请获受理。根据招股书,气派科技本次拟公开发行不超过2657万股,占发行后总股本比例不低于25%,拟募集资金4.86亿元,扣除发行费用后将投资于高密度大矩阵小型化先进集成电路封装测试扩产项目和研发中心(扩建)建设项目。

资料显示,气派科技自成立以来,一直从事集成电路的封装、测试业务。该公司以集成电路封 装测试技术的研发与应用为基础,从事集成电路封装、测试及提供封装技术解决方案,封装测试主要产品包括Qipai、CPC、SOP、SOT、QFN/DFN、LQFP、DIP 等七大系列,共计超过120个品种,主要客户有矽力杰、华大半导体、华润微电子、吉林华微、昂宝电子、晟矽微电子、成都蕊源等企业。

招股书介绍称,气派科技2019年集成电路封装测试年销量达62.58亿只,从企业综合实力来看,可以将国内封装测试厂商分为三个梯队,气派科技处于第二梯队。气派科技业务主要集中在华南地区,已发展成为华南地区技术工艺先进、产品系列相对齐全、产销量规模最大的内资集成电路封装测试企业之一。

2017年、2018年、2019年,气派科技的营业收入分别为3.99亿元、3.79亿元、4.14亿元;归母净利润分别为4677.01万元、1530.04万元、3373.10万元;主营业务毛利率分别为 24.80%、18.93%、20.75%。

易兆微电子、东芯半导体、芯导电子进入上市辅导期

No.1 易兆微电子

6月19日,浙江证监局披露了易兆微电子的辅导备案公示文件。文件显示,易兆微电子已与海通证券签署上市辅导协议,辅导期大致为2020年6月至2021年3月。

资料显示,易兆微电子成立于2014年3月,是一家短距离无线通讯芯片设计公司,专注于蓝牙及wifi、NFC及安全应用的无线片上的系统和射频芯片的设计、研发和销售,产品所涉及的领域包括移动支付、无线键盘和鼠标、无线游戏控制器、无线运动健康装备和物联网设备等。

No.2 东芯半导体

6月23日,上海证监局披露了海通证券关于东芯半导体辅导备案情况报告公示。根据报告,东芯半导体于6月15日与海通证券签署上市辅导协议并在上海证监局进行辅导备案。

报告显示,东芯半导体成立于2014年11月,聚焦于中小容量存储芯片的研发、设计和销售,是大陆少数可以同时提供Nand、Nor、Dram等主要存储芯片完整解决方案的公司,产品广泛应用于5G通信、物联网终端、消费电子、汽车电子类产品等领域。

No.3 芯导电子

6月23日,上海证监局披露了国元证券关于芯导电子辅导备案情况报告公示;根据报告,芯导电子于6月与国元证券签署了上市辅导协议并于6月16日在上海证监局进行辅导备案。

报告显示,芯导电子成立于2009年11月,主营业务为模拟集成电路和功率器件的研发与销售,主要产品可以分为集成电路芯片和半导体分立器件两大类,广泛应用于智能终端、网络通信、安防工控、智能家居等领域。

又一家半导体设备厂商冲刺科创板

又一家半导体设备厂商冲刺科创板

6月22日,上交所正式受理了江苏微导纳米科技股份有限公司(以下简称为“微导纳米”)科创板上市申请。

据招股书显示,微导纳米以原子层沉积(以下简称“ALD”)技术为核心,致力于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用,为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案。

目前,微导纳米集成电路领域设备样机已开发完成,并实现了Al2O3、HfO2、ZrO2、TiO2、ZnO、Ta2O5、SiO2、TiN等多种关键工艺材料的薄膜沉积验证,薄膜厚度均匀性等技术参数已经达到集成电路领域使用标准,但受限于生产环境与检测手段等因素,该产品在集成电路标准要求下的颗粒度等关键指标尚有待验证。

微导纳米表示,随着公司集成电路高端装备产业化应用中心的落成,公司产品的生产环境与检测手段将大幅提升,有望突破技术壁垒,实现集成电路制造核心装备的国产化,打破国外厂商的市场垄断。

近年来,微导纳米经营业绩实现大幅增长。招股书显示,2017-2019年,微导纳米实现营业收入分别为0元、4,191.06万元、21,581.56万元;实现净利润分别为-891.18万元、-2,919.29万元、4,141.41万元。报告期内,微导纳米主营业务收入主要来自ALD设备。2018年和2019年,微导纳米来自于ALD设备的收入金额分别为3,898.03万元和20,194.69万元,占主营业务收入的比例分别为93.02%和93.59%。

据披露,微导纳米此次拟募集资金5亿元,在扣除发行费用后拟用于投建年产120台基于原子层沉积技术的光伏、柔性电子及半导体设备扩建项目、集成电路高端装备产业化应用中心项目、以及补充流动资金。

其中,年产120台基于原子层沉积技术的光伏、柔性电子及半导体设备扩建项目是基于该公司现有ALD设备产线进行升级扩产,开发适用于光伏、集成电路、柔性电子的ALD设备,实现年产120台ALD设备的项目扩产。

项目建成后,微导纳米可进一步推动给我国薄膜沉积设备的发展,实现高端装备国产化的战略目标。微导纳米称,该项目有利于公司在半导体与泛半导体不同领域内实现横向发展。从而提升薄膜沉积设备市场占有率,促进国内薄膜沉积设备与技术的发展,从而进一步实现半导体及泛半导体行业高端装备的国产化替代,打破半导体及泛半导体行业内进口设备的垄断地位,彰显国内企业研发、技术及生产实力。

而集成电路高端装备产业化应用中心项目拟于无锡市新吴区梅路租赁厂房建设集成电路高端装备产业化应用中心,致力于研发设计几乎ALD技术的集成电路高端制造装备。建设将重点开发集成电路配套高端装备,深入研究ALD技术在集成电路领域的运用,并进行单片及批量机型ALD设备开发、晶圆传输系统开发。

微导纳米表示,项目建成后,可进一步推动我国薄膜沉积设备的发展,实现高端装备国产化的战略目标,提高公司核心竞争力。

关于未来发展战略,微导纳米表示,公司以ALD技术为核心,在继续保持光伏领域的技术和市场优势的前提下,扩大在集成电路、柔性电子和其他新能源等领域关键装备产品,通过打造先进的ALD 技术产业化研发中心,针对市场发展和需求开发专用于产业化的镀膜解决方案和产品,引领创新性应用,不断向产品横向以及纵深发展;同时,择机通过收购等方式,对核心技术上下游关键工艺进行技术整合,针对新兴产业形成一整套技术解决方案,力争成为全球微纳制造装备领导者。