凯世通国产自主高能离子注入机关键项目进入调试阶段

凯世通国产自主高能离子注入机关键项目进入调试阶段

万业企业8月28日公布的半年报告显示,全资子公司凯世通研发国产自主高能离子注入机关键项目已进入实际调试阶段。

受房地产行业整体政策影响,报告期内,公司实现营业收入16.25亿元,同比减少31.24%,实现净利润5.27亿元、扣非后净利润4.48亿元,分别同比减少40.68%和48.24%。

上半年,公司积极采取有效措施应变不利因素,在稳步推进现有项目开发的同时加快了战略转型步伐。为了尽快实现弯道超车,公司加大了在半导体领域投入力度,以设立半导体产业园基地为依托,积极探索“集成装备+地方”经营模式,力图实现半导体双向产业结构的优化升级,全方位推动产城融合发展,在保证稳健消化房产存量的同时确保企业转型软着陆。

万业企业此前着力并购而入的凯世通自主研制的离子注入机,可应用于新能源产品制造、集成电路制造等领域。在太阳能领域,凯世通作为目前全球仅有的3家太阳能离子注入机厂家之一,市场占有率为全球第一。集成电路离子注入机是集成电路制造中的四大关键设备之一,市场集中度偏高,美国多家公司获得了全球大部分市场份额。

在高能离子注入机方面,凯世通在政府项目的支持下,正全力自主研发国产高能离子注入机。该公司于今年4月所申报的02专项“300mm高能离子注入机装备及工艺研发项目”已完成第一阶段审批,缩申报的上海市科委的高能离子注入机关键技术项目已获立项。目前凯世通已完成实验机台的调试、恢复与实验场地准备,正在与国内关键客户沟通高能离子注入机应运方面的技术需求。

早在去年8月6日,在上交所举行的发行股份收购资产事项媒体说明会上,万业企业董事长朱旭东曾用三句话表明心迹:一是“君子爱财,取之有道”,半导体产业是制造业的皇冠,公司核心团队以真金白银投入,希望通过攀高峰“挣大钱”;二是“喜欢啃硬骨头”,想在人少的地方钻研下去;三是“没有金刚钻不揽瓷器活”,公司准备好了一系列有力措施要把事情做好。一年时间过去了,公司在严苛复杂的市场环境下,坚持国产替代与自主研发,正在“啃下硬骨头”。

万业企业董事会在半年报中表示,今年公司将紧密对接国家加快发展集成电路产业的战略布局,特别是抓住集成电路关键设备和核心材料领域的国产化和进口替代机会,推动公司快速向集成电路产业领域转型。今年6月公司已公告,拟与中科院微电子所共同牵头发起设立集成电路装备集团有限公司,项目总投资15亿元,其中中科院微电子所与万业企业共同出资8亿元,拟以各自持有的集成电路装备类公司股权作价入股,芯鑫租赁拟对装备集团提供意向性融资额度5亿元。此合作将汇集各自领域的专业优势,推动集成电路装备产业“科研、金融、产业”的融合,促进集成电路装备国产替代水平的提升,以此推动公司向集成电路产业的战略转型迈出重要的一步。

“临港就是中国的硅谷,它的结构布置,跟生活环境,与我们当年在硅谷是很类似的。”凯世通半导体创世人陈炯曾如此表示。如今,随着上海自贸试验区临港新片区总体方案正式发布,万业企业与凯世通迎来了新的发展机遇。借助临港新片区的进一步开放政策,辅以国家集成电路产业投资基金的资金支持,公司有志在集成电路装备材料产业的国产替代进程中,实现经营业绩不断提升。

总投资5亿元 京东方子公司光刻胶项目将落地湖北葛店

总投资5亿元 京东方子公司光刻胶项目将落地湖北葛店

8月20日,湖北葛店开发区管委会副主任杨景平带队赴北京招商引资,拜访了京东方-北京北旭电子材料有限公司(以下简称“北京北旭电子”)。

北京北旭电子计划在葛店投资5亿元,占地100亩,主要生产TFT-LCD用光刻胶、半导体用光刻胶、PI液、有机绝缘膜等产品,项目分两期建设,第一期将年产3000吨TFT-LCD用光刻胶生产线整体搬迁,同时扩大生产规模,达到年产5000吨的规模;第二期主要建设半导体用光刻胶生产线、PI液、有机绝缘膜生产线。

资料显示,北京北旭电子(简称BAE公司)是京东方科技集团全资子公司,前身为京东方科技集团股份有限公司与日本旭硝子株式会社、丸红株式会社、共荣商事株式会社共同兴办的北京旭硝子电子玻璃有限公司。2008年京东方收购日方全部股份,BAE成为京东方科技集团股份有限公司的全资子公司,同时更名为北京北旭电子玻璃有限公司。2014年根据公司主营业务变化公司更名为北京北旭电子材料有限公司。

北方华创20亿元定增申请获批 将投向两大项目

北方华创20亿元定增申请获批 将投向两大项目

8月22日,中国证券监督管理委员会(以下简称“中国证监会”)发行审核委员会对北方华创科技集团股份有限公司(以下简称“公司”)非公开发行股票的申请进行了审核。

根据会议审核结果,北方华创本次非公开发行股票的申请获得审核通过。

不过北方华创公告称,目前,公司尚未收到中国证监会的书面核准文件,公司将在收到中国证监会予以核准的正式文件后另行公告。

根据北方华创此前发布的定增方案显示,本次非公开发行对象为北京电控、国家大基金、京国瑞基金共3名特定对象,募集资金总额不超过20亿元,其中,国家大基金为9.1亿元、北京电控认购金额为5.9亿元、京国瑞基金认购金额为5亿元。

募资金额将投入高端集成电路装备研发及产业化项目和高精密电子元器件产业化基地扩产项目。募集资金用途如下:

其中高端集成电路装备研发及产业化项目预计总投资20.1亿元,拟投入募集资金17.8亿元,计划为28纳米以下集成电路装备搭建产业化工艺验证环境和实现产业化;建造集成电路装备创新中心楼及购置5/7纳米关键测试设备和搭建测试验证平台;开展5/7纳米关键集成电路装备的研发并实现产业化应用。

项目设计产能为年产刻蚀装备30台、PVD装备30台、单片退火装备15台、ALD装备30台、立式炉装备30台、清洗装备30台。项目完全达产后,预计达产年年平均销售收入约26.4亿元,项目达产年平均利润总额约5.4亿元。

高精密电子元器件产业化基地扩产项目预计总投资2.4亿元,拟投入募集资金2.2亿元,项目建设内容包括厂房建设、生产设施、辅助动力设施、环保设施、安全设施、消防设施、管理设施等。项目设计产能为年产模块电源5.8万只。项目完全达产后,预计达产年年平均销售收入约1.6亿元,项目达产年平均利润总额3223万元。

北方华创表示,通过本次非公开发行,公司将进一步提升现有高端集成电路设备的产业化能力,并将积极布局集成电路设备的下一代关键技术,为公司集成电路设备的持续技术升级提供必要条件。

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聚焦高端芯片设备战略,中微半导体投资上海睿励

聚焦高端芯片设备战略,中微半导体投资上海睿励

8月21日,中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微半导体”)发布公告称,拟对睿励科学仪器(上海)有限公司(以下简称“上海睿励”)进行投资,金额为1375万元,投资完成后中微半导体持股上海睿励股权比例约为10.41%。

资料显示,上海睿励是国内集成电路工艺检测设备供应商,目前拥有的主要产品包括光学检测设备、硅片厚度及翘曲测量设备及子公司宏观缺陷检测设备等。其自主研发的12英寸光学测量设备TFX3000系列产品,已应用在28纳米芯片生产线并在进行14纳米工艺验证,在3D存储芯片上达到64层的检测能力。

目前,上海睿励的产品已成功进入世界领先芯片客户3D闪存芯片生产线,并取得7台次重复订单,是目前进入该国际领先芯片生产企业唯一的国产集成电路设备产品。

此前,通过投资国内薄膜设备公司沈阳拓荆科技有限公司,中微半导体在集成电路薄膜设备领域进行了布局,中微半导体指出,此次投资上海睿励,是公司聚焦并落实高端芯片设备战略的又一步骤,将进一步形成产业链协同效应。

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中微公司上市后首份中报出炉 同比扭亏为盈

中微公司上市后首份中报出炉 同比扭亏为盈

8月21日晚间,在科创板上市一个月的中微公司发布了2019年半年报。报告期内,公司实现营业收入8.01亿元,同比增长72.03%;净利润3037.11万元(去年同期亏损1325.16万元),同比扭亏为盈。

当晚同步披露的,还有一则投资暨关联交易的公告。中微公司拟对上海睿励投资1375万元,投资完成后,公司将持股上海睿励股权比例约为10.41%。上海睿励为国内技术领先的集成电路工艺检测设备供应商,其产品目前已成功进入世界领先芯片客户3D闪存芯片生产线,并取得7台次重复订单,是目前进入该国际领先芯片生产企业唯一的国产集成电路设备产品。

行业地位领先

中微公司主要从事半导体设备的研发、生产和销售,向下游集成电路、LED芯片、先进封装、MEMS等半导体产品的制造公司销售刻蚀设备和MOCVD设备、提供配件或服务。公司的等离子体刻蚀设备已在国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米的集成电路加工制造及先进封装中有具体应用。公司的MOCVD设备在行业领先客户的生产线上大规模投入量产。公司已成为世界排名前列、国内占领先地位的氮化镓基LED设备制造商。

谈及行业情况及主要业绩驱动因素,中微公司表示,按产品来看,刻蚀设备方面,全球智能手机和存储市场需求有所放缓。随着存储市场投资复苏、大陆新建产线及扩建产能,预计2020年设备销售额将年增12%,中国在未来将成为全球半导体制造设备的最大市场。得益于中国台湾先进代工厂和中国大陆半导体制造厂的新建、扩建产能的计划,2019年相应地区的半导体设备投资将保持去年的水平,公司有望受益于中国大陆、中国台湾对半导体设备的稳定需求,并充分利用自身的地缘优势、突出的技术能力和市场积累,持续健康发展。

MOCVD设备方面,根据Yole Développement预测,2019年氮化镓基LED芯片扩产将减缓,LED芯片制造厂开始专注于Mini LED的研发和小批量量产,2019年下半年及2020年其将成为LED芯片制造厂主流的扩产方向。凭借突出的技术实力,公司将稳固在氮化镓基LED MOCVD设备的优势地位,并紧跟市场需求积极推动Mini LED MOCVD设备的技术验证,保持竞争优势。

订单稳定

产品研发及客户拓展方面,具体来看:1.CCP刻蚀设备,公司刻蚀设备产品保持竞争优势,批量应用于国内外一线客户的集成电路加工制造。此外,公司已成功取得5纳米逻辑电路、64层3D NAND制造厂的订单。2.ICP刻蚀设备,公司继续开拓ICP设备业务,已在某先进客户验证成功并实现量产,并有机台在其他数家客户的生产线上验证。3.MOCVD设备,公司继续发挥在蓝光LED设备的竞争优势,实现大量发货,同时,应用于深紫外LED的MOCVD设备已有产品在某先进客户验证成功。

此外,供应保障方面,公司在需求预测、库存管理和供应商管理三方面建立了动态协调机制,确保生产所需的零部件原材料能够及时高效流转,实现产品交付时间的精准性。公司也在继续开发关键零部件的多个供应商,特别是国内供应商,以确保供应。营运管理方面,公司营运水平继续保持较高水平,生产制造缺陷率、设备交付按时率、物料成本控制等指标均已达到优良水平。

继半导体材料后,光刻机相关设备市场或受日韩贸易战影响

继半导体材料后,光刻机相关设备市场或受日韩贸易战影响

在半导体设备的供应商名单中,前15大厂商营收占总产值超过8成,由于半导体制造厂商在设备选择上多属于长期合作模式,因而形成目前半导体设备厂商大者恒大的态势。

从全球半导体设备厂的总部位置来看,日本厂商占7间、美国厂商4间、欧洲厂商2间、新加坡与韩国各1间。由于美国与日本厂商为供应链主要玩家,面对话题性不断升温的中美贸易战,以及近日突发的日韩贸易关系恶化,也让半导体设备供需状况,或将成为继半导体材料后市场讨论的议题。

半导体设备产业聚落集中度高,美国与日本为主要玩家

从设备在半导体制程的位置分析,具有独占性质的是荷兰光刻机厂商ASML,在半导体的曝光显影制程中扮演重要角色,技术层面与市占最集中,虽然有日本厂商Canon与Nikon做为竞争对手,但市占率不及ASML。

在蚀刻制程部分,Applied-Materials、LAM Research、Tokyo Electron(TEL)、Hitachi High-Technology(HHT)是主要厂商,市占部分以LAM Research与TEL囊括近7成份额。

在晶圆清洗制程部分,日商SCREEN以市占超过5成位居首位,旗下的桶槽式(WET Bench)与单晶圆式(Single Wafer)晶圆清洗设备是市场领头羊,竞争对手如韩国SEMES、LAM Research与TEL的清洗设备皆有比照SCREEN相对应的机台设计。

在薄膜沉积制程部分,Applied Materials占主导地位,其CVD(化学气相沉积)设备市占率近6成,而在PVD(物里气相沉积)设备部分市占率达7成,竞争对手TEL、LAM Research等分食剩余市场,值得一提的是,ASM International的原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD)针对特定需求市场具有很高的机台使用率。

最后在晶圆检验设备方面,美商KLA Tencor市占最高超过5成,Applied Materials与Hitachi High-Technology是主要竞争对手,而日商ADVANTEST与美商Teradyne则是晶圆测试市场的主要供应商。

整体来说,半导体晶圆制造的主要设备技术供应商以美国与日本为主,高集中度的产业聚落也意味着容易受各国在贸易与进出口政策上的变动而影响产业状况,例如中美贸易战与近期的日韩关系恶化,均为半导体产业添加不稳定因子,也持续考验供应商对大环境的应变能力与经营策略。

日商半导体设备尚未出现明显影响,然而光刻机相关设备或将有潜在风险

日本与韩国同为亚洲区半导体产业一线集团,而2019年8月2日,日本宣布将韩国移出适用贸易优惠待遇的白名单后,韩国半导体产业受到的影响也备受市场关注。对半导体设备而言,机台在收到PO后约需半年制作时间,如果出口审核的时间能纳入制作机台的时间内,则较不会产生负面影响;然而,倘若审核时间必须叠加上机台出货时间,对机台出货的优先级及晶圆厂的产能规划就会造成不小影响。

从日本半导体设备供应商来看,会造成影响的独占性或许不如半导体材料大,但仍不可忽略其可能影响性,尤其是在晶圆厂的产线配置上,多半有固定机台与机型间相互搭配,由过去的机台参数调整经验与实际产品验证建构出最有效率的生产线,若要变更使用机台,即便机台参数一致,也不能保证能得到与原来产品一样的结果。因此就算半导体设备在功能分上有替代厂商,但若非过去验证过的机台,也不能抹除韩国半导体晶圆厂对于日本出口审核的潜在威胁。

值得一提的是,荷兰商ASML的光刻机是晶圆制造中相当重要且必须的设备,而ASML的光阻剂布植设备就是与日商TEL合作,晶圆做完光阻剂布植后会直接传送进做曝光显影制程空间,因此ASML某些机型的光刻机,原则上是与TEL机台联结在一起,装机与调机期间也是同时进行,倘若TLE机台出口因审核而影响交机时间,连带也会影响光刻机建置,对于韩国积极投资扩大半导体产业带来潜在的风险评估,后续影响程度仍需重点观察。

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下游需求拉动业绩增长 北方华创上半年营收16.55亿元

下游需求拉动业绩增长 北方华创上半年营收16.55亿元

8月14日,国产设备厂商北方华创发布其2019年上半年业绩报告。北方华创表示,2019年上半年受下游集成电路、光伏、平板显示等产线建设及高精密元器件需求的拉动,公司电子工艺装备和电子元器件业务整体保持增长趋势。

数据显示,2019年上半年北方华创实现营业收入16.55亿元,同比增长18.63%;实现归属于上市公司股东的净利润1.29亿元,同比增长8.03%。其中,电子工艺装备主营业务收入12.47亿元,同比增长17.13%;电子元器件主营业务收入3.98亿元,同比增长22.49%。

北方华创表示,2019年上半年应对下游半导体各细分领域以及真空设备应用需求,电子工艺装备营业收入有所增长。其中,刻蚀机、PVD、CVD、立式炉、清洗机等半导体工艺设备陆续批量进入国内8英寸和12英寸集成电路存储芯片、逻辑芯片及特色芯片生产线,部分产品进入国际一流芯片产线及先进封装生产线。

此外,受国内光伏行业的景气度提升影响,光伏电池片工艺设备及单晶炉业务出现较大增长;LED行业发展放缓,北方华创LED设备业务增长不及预期;其他泛半导体应用领域业务及真空热处理领域业务总体保持平稳的发展态势。 

电子元器件业务方面,北方华创指出,2019年上半年受下游需求增长以及公司新产品推广力度加大的影响,元器件业务整体增长22.49%。

北方华创主要产品为电子工艺装备和电子元器件,电子工艺装备主要产品包括半导体装备、真空装备和锂电装备三大业务领域产品,电子元器件主要产品包括电阻、电容、晶体器件、微波组件、模块电源、混合集成电路等高精密电子元器件。

北方华创的半导体装备包括刻蚀机、PVD、CVD、氧化/扩散炉、清洗机及气体质量流量控制器等品类,北方华创表示,其半导体设备在集成电路领域已形成28纳米设备供货能力,14纳米工艺设备处于客户工艺验证阶段。

今年上半年,北方华创在半导体设备方面有所动作。年初,北方华创发布拟募集资金不超过20亿元用于“高端集成电路装备研发及产业化项目”和“高精密电子元器件产业化基地扩产项目”,将在28纳米设备基础上,进一步实现14纳米设备的产业化,并开展5/7纳米设备的关键技术研发。

前不久,北方华创宣布公司全资子公司北方华创微电子拟与北京电控、亦庄科技,共同增资北京集成电路装备创新中心有限公司,后者定位为合作开展集成电路装备相关技术的研究与开发。

总投资3亿美元的高端半导体设备制造项目落户江苏泰州

总投资3亿美元的高端半导体设备制造项目落户江苏泰州

8月14日,江苏省泰州市高港区举办高端半导体设备制造项目签约仪式。

该项目由无锡乐东微电子(香港)有限公司和韩国APS公司共同投资,项目总投资3亿美元,注册资本1亿美元,计划用地约100亩。主要从事12英寸晶圆高端半导体设备制造和销售,预计达产后实现年开票销售不少于2亿美元,年纳税不少于1.3亿元人民币。

该项目属于国家重点支持的高新技术产业,投资主体实力雄厚,科技含量高,相关技术填补了我国集成电路领域生产技术空白。项目的签约,标志着高港区利用外资重大项目实现新的突破,外资渠道得到进一步拓展,同时填补了该区在高端半导体设备制造方面的空白,必将促进集成电路装备制造产业集聚,助力高港战略性新兴产业做大做强。

天眼查显示,无锡乐东微电子有限公司成立于2002年,其经营范围包括集成电路、功率半导体器件、集成电路制造用的材料等。

北京加快突破光刻机“卡脖子”难题

北京加快突破光刻机“卡脖子”难题

我国正加速实现中高端光刻机的国产化。近日,亦庄企业北京国望光学科技有限公司增资项目在北京产权交易所完成。通过此次增资,国望光学引入中国科学院长春光学精密机械与物理研究所和中国科学院上海光学精密机械研究所作为战略投资者,两家机构以无形资产作价10亿元入股,对应持股比例为33.33%。这意味着北京在推动国产光刻机核心部件生产方面迈出实质性步伐,将加快突破国产中高端光刻机制造“卡脖子”技术难题。

光刻机作为集成电路制造中最关键的设备,对芯片制作工艺有着决定性的影响,被誉为“超精密制造技术皇冠上的明珠”,制造和维护均需要高度的光学和电子工业基础。光刻机工作原理跟照相机类似,不过它的底片是涂满光刻胶的硅片,各种电路图案经激光缩微投影曝光到光刻胶上,光刻胶的曝光部分与硅片进行反应,将其永久刻在硅片上,这就是芯片生产最重要的步骤。由于制造光刻机具有极高的技术和资金门槛,目前全球光刻机市场基本被荷兰的阿斯麦、日本的尼康和佳能三家企业垄断。

国望光学2018年6月落户北京经济技术开发区,是北京亦庄国际投资发展有限公司的全资子公司,注册资本20亿元,主营业务为光刻机核心部件生产。

“国产光刻机制作工艺和全球顶尖工艺还有一定差距,国望光学的成立就是要推动国产中高端光刻机整机研发和量产。”亦庄国投相关负责人说,此次通过北交所增资就是要寻找技术实力一流的战略投资方。

28亿元中科九微半导体智能制造项目年底完工

28亿元中科九微半导体智能制造项目年底完工

8月6日,记者在位于南充高新技术产业园区内的中科九微半导体智能制造项目建设基地看到,吊塔耸立,长臂挥舞,各种机械满负荷运转,偌大的施工场地中央钢架林立,近10栋厂房雏形初现。在施工便道的另一侧,该项目配套用房建设现场同样如火如荼。

“目前,正在进行厂房、研发科研楼,以及工人的宿舍、食堂等配套基础设施建设。” 中科九微科技有限公司董事长李世坤介绍,11栋厂房全是钢架结构,已完成10栋主体工程,本月底厂房主体工程将完工,接下来进行二次装修,预计9月底可建成。“科研楼、宿舍等配套基础建设也在同步推进。”李世坤告诉记者,目前,地圈梁施工已完成70%,钢结构安装已完成35%,进度比预期提前两个月。

据李世坤介绍,公司瞄准国内外集成电路装备对核心部件及核心设备的需求,主要生产半导体全磁悬浮洁净获得设备、高精度测量设备和集成电路芯片等。“目前,我国集成电路产品及装备对外依赖程度高,约90%的集成电路产品依赖进口。”李世坤表示,为迅速弥补我国集成电路装备制造领域的短板,将工期由原来的两年缩短为一年,今年底将全部建成投产,从开工到现在已投入10亿元,已完成120万方场平挖填,24万平方米基础强夯,46000米基装施工,大部分设施设备已经采购。

“中科九微项目建设进度真正展现了‘顺庆速度’。”区经信局相关负责人介绍,该项目自签约落户园区以来,该局就组建服务专班,坚持每周调度,主动和企业对接,为企业规划、选址、建设、手续办理等提供“保姆式”跟踪服务,对项目建设中遇到的路网、水电等要素保障问题,列出问题清单,限期解决落实,以专业高效的服务确保项目顺利推进。

据了解,中科九微半导体智能制造项目总投资28亿元,占地290亩,将研发、生产半导体晶圆片生长设备、刻蚀设备、薄膜沉积设备的核心部件和各种传感器、控制电源等产品。该项目建成投产后,将为社会提供2000个就业岗位,实现年均产值50亿元,税收约1.3亿元。