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近日，江苏南大光电材料股份有限公司（以下简称“南大光电”）在股票交易异常波动的公告中披露了其光刻胶项目最新进展。

公告显示，南大光电承接的国家“02专项”之“ArF光刻胶产品的开发和产业化项目”的基础建设按计划进行；2019年底完成一条生产线的安装，正在调试阶段。2020年4月，公司采购的用于检测ArF(193nm)光刻胶产品性能的光刻机运入宁波南大光电工厂，5月开始进行安装调试，预计安装调试需要4-5个月的时间。公司制备ArF(193nm)光刻胶用的高纯原材料来源于自主研发，研制出的ArF(193nm)光刻胶样品正在供客户测试。

目前“ArF光刻胶开发和产业化项目”正处于光刻胶样品验证阶段，验证过程预计需要12-18个月，甚至更长的时间。南大光电还指出，ArF(193nm)光刻胶产品开发技术突破难度大、工艺要求高，且实现稳定量产周期较长，后续是否能取得下游客户的订单，能否大规模进入市场仍存在较多的不确定性。

据了解，南大光电ArF光刻胶产品的开发和产业化项目总投资额为6.56亿元，其中，国拨资金1.93亿元，地方配套资金1.97亿元，项目实施主体为南大光电全资子公司宁波南大光电。

2019年12月14日，南大光电再次发布公告称，通过增资扩股的方式宁波南大光电进行增资2.6亿元，增资事项完成后，宁波南大光电的注册资本由4000万元增加到3亿元。对于宁波南大光电增资扩股并引入外部投资者，南大光电称，有利于加快公司ArF光刻胶产品的开发与产业化项目的建设进度，推动光刻胶板块的战略布局。

根据最初规划，ArF光刻胶产品的开发和产业化项目拟通过3年的建设、投产及实现销售，达到年产25吨193nm（ArF干式和浸没式）光刻胶产品的生产规模，产品满足集成电路行业需求标准。同时建成先进光刻胶分析测试中心和高分辨率光刻胶研发中心。

4月21日，南大光电发布公告，拟变更公司转让参股公司北京科华微电子材料有限公司（以下简称“北京科华”）股权受让方。

去年6月，南大光电宣布拟将北京科华31.39%股权转让给深投控、疌盛投资、高盟新材、四川润资、弘坤创投、西藏汉普森、沃燕创投共7家公司。上述交易同时，北京科华的其他股东美国Meng Tech公司和杭州诚和创业投资有限公司自愿支付公司股权转让差价款1619万元。该交易完成后，南大光电不再持有北京科华的股权。

截至公告日，南大光电已收到疌盛投资、高盟新材、弘坤创投和沃燕创投支付的全部股权转让对价款；收到四川润资支付的第一期股权转让款400万元；收到西藏汉普森支付的第一期股权转让款601.02万元。截至目前，南大光电累计收到6家交易对手方支付的股权转让款共计9999.02万元。

北京科华就上述6家已履行付款义务的交易方对应的股权，完成了股权转让的工商变更登记手续。截至目前，南大光电与深投控的股权转让协议（对应股权对价款5000万元）尚未履行，公司仍持有北京科华9.18%的股权。

鉴于深投控未按股权转让协议履行付款义务，南大光电采纳变更受让方的方案，现在拟将董事会、股东大会审议通过的原股权转让方案中，“以5000万元人民币将持有的北京科华9.1836%的股权转让给深投控”，变更为“以5000万元人民币将持有的北京科华9.1836%的股权转让给浙江自贸区静远投资合伙企业（有限合伙）”。

南大光电表示，本次交易若顺利实施，将有效解决公司对于北京科华剩余股权的处置，增加公司的营运资金，有利于优化公司资产结构，不存在损害公司及全体股东利益的情形。本次交易受让方变更后，若公司持有北京科华剩余的9.18%股权顺利转让，预计获得股权转让款 5000万元，公司预计增加投资收益约1600万元，将对公司2020年度经营业绩产生积极影响。

资料显示，北京科华成立于2004年，是一家产品覆盖KrF（248nm）、I-line、G-line、紫外宽谱的光刻胶及配套试剂供应商与服务商。2015年，南大光电通过受让以及增资方式获取北京科华31.39%的股份，并表示双方将共同开展193nm光刻胶的研究与产品开发，后来双方合作并没有按计划进行。

近日，南大光电在互动平台透露，宁波南大光电目前已安装完成第一条ArF（193nm）光刻胶生产线，该产线仍处于调试阶段。目前，研发的产品正在测试、认证过程中，尚未形成量产和销售。

2019年7月，南大光电在互动平台透露，公司设立光刻胶事业部，并成立了全资子公司“宁波南大光电材料有限公司”，全力推进“ArF光刻胶开发和产业化项目”落地实施。

2019年10月，南大光电公告称，公司与宁波经济技术开发区管理委员会签署了《投资协议书》，拟在宁波经济技术开发区投资开发高端集成电路制造用各种先进光刻胶材料以及配套原材料和底部抗反射层等高纯配套材料，形成规模化生产能力，建立配套完整的国产光刻胶产业链。该项目计划总投资6亿元，预计总用地50亩。项目完全达产后，预计实现约10亿元的年销售额，年利税预计约2亿元。

资资料显示，南大光电主要从事高纯电子材料研发、生产和销售，通过承担国家重大技术攻关项目并实现产业化。目前，公司形成MO源、电子特气、ALD/CVD前驱体材料等业务板块。值得注意的是，2017年，南大光电还承担了集成电路芯片制造用关键核心材料之一的“193nm光刻胶材料的研发与产业化项目”（以下简称193nm光刻胶项目）。

对于两个光刻胶项目之间的联系，南大光电此前在公告中强调，“ArF光刻胶开发和产业化项目”与“193nm光刻胶材料的研发与产业化项目”系两个独立的项目。公司称，投建新项目是为加大对先进光刻胶材料以及配套原材料的建设。

12月14日，江苏南大光电材料股份有限公司（以下简称“南大光电”）发布公告称，公司分别于2018年12月21日、2019年1月9日召开第七届董事会第十二次会议、2019年第一次临时股东大会，审议通过了《关于投资实施国家“02专项”ArF光刻胶产品的开发与产业化项目的议案》和《关于使用部分超募资金投资“ArF光刻胶产品的开发与产业化”项目的议案》。

据悉，“ArF光刻胶产品的开发与产业化项目”(“光刻胶项目”)投资总额约6.56亿元人民币，其中国拨资金约1.93亿元，地方配套资金约1.97亿元，使用公司上市时的超募资金1.5亿元及其他自筹资金。项目实施主体为公司全资子公司宁波南大光电材料有限公司(以下简称“宁波南大光电”)。

截至公告日，南大光电已使用上述超募资金4,000万元作为资本金投入宁波南大光电，用于实施光刻胶项目。

公告指出，为进一步推动光刻胶项目的顺利实施，满足项目资金需求，宁波南大光电拟以增资扩股的方式融资2.6亿元（含上述已经公司董事会、股东大会审议通过的超募资金使用计划中剩余的1.1亿元）。

公告披露，上述增资扩股方式分为三部分。

第一部分为南大光电拟以货币资金方式对宁波南大光电增资1.5亿元,其中使用上述超募资金使用计划中的剩余资金1.1亿元，自有或自筹资金4000万元。

第二部分为南大光电拟以自有的“光刻胶技术资产组”作为无形资产对宁波南大光电增资，增资金额为3000万元。

第三部分为宁波南大光电引入新的投资方：宁波经济技术开发区金帆投资有限公司、天津南晟贰号企业管理合伙企业（有限合伙）以及许从应个人。经各方友好协商，宁波金帆以3000万元的价格认购宁波南大光电新增注册资本3000万元；天津南晟以4000万元的价格认购宁波南大光电新增注册资本4000万元；许从应先生以1000万元的价格认购宁波南大光电新增注册资本1000万元。

本次增资扩股前，宁波南大光股权结构如下：

本次增资扩股后，宁波南大光股权结构如下：

南大光电称，本次投资，宁波南大光电的注册资本由人民币4,000万元增加到30,000万元，其中新增注册资本人民币26,000万元。宁波南大光电本次增资扩股并引入外部投资者，有利于增强宁波南大光的资金实力，有利于加快公司“ArF光刻胶产品的开发与产业化项目”的建设进度，推动公司在光刻胶板块的战略布局。

光刻胶概念股南大光电10月23日公告，拟投资新建光刻胶材料以及配套原材料项目。

光刻胶项目是南大光电最大的看点。在此前A股光刻胶概念炒作中，公司股票也受到了资金追捧。此番，南大光电宣布加码光刻胶产业值得关注。

拟投建光刻胶材料配套项目

南大光电公告称，公司与宁波经济技术开发区管理委员会签署了《投资协议书》。按照协议，上市公司拟在宁波经济技术开发区投资开发高端集成电路制造用各种先进光刻胶材料以及配套原材料和底部抗反射层等高纯配套材料，形成规模化生产能力，建立配套完整的国产光刻胶产业链。

项目计划总投资6亿元，预计总用地50亩。项目完全达产后，预计实现约10亿元的年销售额，年利税预计约2亿元。

资料显示，南大光电主要从事高纯电子材料研发、生产和销售，通过承担国家重大技术攻关项目并实现产业化。目前，公司形成MO源、电子特气、ALD/CVD前驱体材料等业务板块。

《每日经济新闻》记者注意到，2017年，南大光电承担了集成电路芯片制造用关键核心材料之一的“193nm光刻胶材料的研发与产业化项目”（以下简称193nm光刻胶项目）。

南大光电2019年半年报表示，公司组建了包括高级光刻胶专业人才的独立研发团队，建成1500平方米的研发中心和百升级光刻胶中试生产线。目前，南大光电“193nm光刻胶及配套材料关键技术研究项目”的研发工作已经完成，正在等待验收。同时，公司设立了光刻胶事业部，并成立了全资子公司宁波南大光电材料，推进“193nm光刻胶项目”的落地实施。在2019年半年报中，南大光电预计其将在2019年底在宁波建成一条光刻胶生产线。

对于此番投建的项目，南大光电特别在公告中强调，项目与公司正在推进的“193nm光刻胶项目”系两个独立的项目。公司称，投建新项目是为加大对先进光刻胶材料以及配套原材料的建设。

曾因光刻胶概念股身份受捧

光刻胶被认为是半导体光刻领域必不可少的关键材料。光刻胶的质量和性能直接决定集成电路的性能、良率。广发证券曾表示，伴随着先进节点所需光刻胶分辨率的提升以及多次图形化技术的应用，光刻胶的成本占比以及市场规模呈现不断提升趋势，根据国际半导体产业协会的数据，2018年光刻胶占晶圆制造材料比例约为5.4%，对应全球半导体光刻胶市场总规模为17.3亿美元，预计2019年市场规模可达17.7亿美元。 

由于半导体光刻胶技术壁垒很高，供应厂商目前主要集中在美国和日本。目前来看，国内仅有晶瑞股份、科华微电子、南大光电、容大感光、上海新阳等企业在进行半导体光刻胶生产与研发。

《每日经济新闻》记者注意到，今年下半年，日本与韩国发生贸易摩擦，日本对韩国进行出口限制，其中便包含光刻胶材料。在此情况下，A股相关光刻胶概念股也一度受到资金追捧，这便包括了南大光电。7月中旬，公司股价曾连续涨停，8月15日~9月5日，公司股价在16个交易日里累计上涨64.70%。

10月23日，电子材料供应商南大光电发布公告，其与宁波经济技术开发区管理委员会签署了《投资协议书》，将加大对先进光刻胶材料以及配套原材料的建设。

根据公告，南大光电拟在宁波经济技术开发区投资开发高端集成电路制造用各种先进光刻胶材料以及配套原材料和底部抗反射层等高纯配套材料，形成规模化生产能力，建立配套完整的国产光刻胶产业链。该项目计划总投资6亿元人民币，预计总用地50亩，项目完全达产后，预计实现约10亿元人民币的年销售额，年利税预计约2亿元人民币。

南大光电表示，本协议的实施符合公司发展战略，有利于公司建立配套完整的国产光刻胶产业链，提升公司竞争力和盈利能力，对公司进一步树立优秀电子材料供应商的发展定位有极大的推动作用。

公告还指出，本次签署的《投资协议书》所涉及的“先进光刻胶材料以及配套原材料和底部抗反射层等高纯配套材料”项目，与公司正在推进的“193nm光刻胶产品的开发与产业化”项目系两个独立的项目，目前“193nm光刻胶产品的开发与产业化项目”顺利推进。

9月2日，江苏南大光电材料股份有限公司（以下简称“南大光电”）发布公告称，为进一步推动电子特气产业布局，抢占市场先机，快速切入氟系电子特气市场，提高公司盈利能力，2019年8月30日，公司与山东省淄博市高青县人民政府签署了《高青县人民政府与江苏南大光电材料股份有限公司关于含氟电子特种气体项目的投资合作协议》。

根据协议，南大光电拟在山东省淄博市高青县投资扩建含氟电子特种气体项目，并于项目建成后，从事三氟化氮及六氟化硫的相关生产经营活动。

本次项目实施主体为山东飞源气体有限公司（以下简称“飞源气体”）。根据公告，南大光电本次拟投资项目的总投资额为3.8亿元，其中2.1亿元来源于公司向飞源气体的增资款，剩余1.7亿元来源于飞源气体的未来自筹资金。将建设占地50亩的研发中心一处，建设年产电子级三氟化氮2300吨、六氟化硫1500吨。建设完成后，年产电子级三氟化氮3300吨、六氟化硫3000吨。

据披露，该项目建设周期为一年，运行达效周期为一年，2020年底前完成项目建设，2021年底前完成一期项目达效。项目投产达效后预计可实现年销售收入4亿元，实现年应纳税金1200万元，年利润6000万元，归属于母公司净利润约3000万元。

南大光电指出，本协议的实施符合公司发展战略，有利于公司快速切入氟系电子特气市场，提升公司竞争力和盈利能力，对公司进一步树立优秀电子材料供应商的发展定位有极大的推动作用。

日前，电子材料企业南大光电发布公告称，为进一步优化资源配置，提高公司盈利能力，拟采用现金收购及增资方式取得山东飞源气体有限公司（以下简称“飞源气体”）57.97%股权。

公告显示，本次交易分为两个部分，总金额约2.47亿元人民币。其中。第一部分为南大光电以3685万元的价格受让山东桓台鲁泰道路工程有限公司持有的飞源气体本次交易前17.07%的股权（对应本次交易前飞源气体的注册资本数额为1100万元）；第二部分为南大光电以2.1亿元的价格认购飞源气体新增注册资本6268.66万元。本次增资款中，6268.66万元计入飞源气体注册资本，其余计入飞源气体资本公积。 

本次交易完成后，飞源气体注册资本变更为1.27亿元，南大光电将持有飞源气体57.97%的股权（对应飞源气体本次交易后注册资本数额为7368.66万元）， 飞源气体成为南大光电的控股子公司。

资料显示，飞源气体成立于2019年7月，系由山东飞源科技有限公司（以下称“飞源科技”）通过分立方式设立。分立前的飞源科技成立于2015年4月，主要产品包括三氟化氮、六氟化硫、六氟化钨、四氟化碳、五氟化碘、六氟丁二烯、八氟环丁烷等，其中三氟化氮（NF₃）和六氟化硫（SF₆）为主要产品。

据介绍，NF₃具有优异的蚀刻速率和选择性、对表面无污染，是电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，主要应用于集成电路行业与面板显示行业；SF₆具有良好的电气绝缘性能及优异的灭弧性能，电子级高纯SF₆是一种理想的电子蚀刻剂，被大量应用显示面板、半导体加工过程中的干刻（Etch）。

公告指出，飞源科技总资产3亿元、固定资产1.8亿元，已建成年产1000吨三氟化氮项目及年产2000吨六氟化硫项目，分别于2016年3月、5月量产。该公司在电子行业已成为台积电、京东方、华星光电、龙腾光电、重庆惠科等大型半导体、显示面板厂商的核心NF₃供货商。

2019年7月，飞源科技为明确主业方向，将包括NF₃、SF₆在内的含氟电子特种气体板块分立为飞源气体（即本次收购的标的公司）。飞源气体专注并以高纯NF₃、SF₆等含氟特种电子气体为主业，未来将致力于更多含氟电子特种气体的研发、生产、销售、服务。

南大光电表示，飞源气体作为国内NF₃重要供应商中唯一民企，在NF₃产品的制备、充装、安全生产、质量控制、安全运输等方面已取得了全面突破，并通过为国内国际多家电子行业领军企业批量供货，积累了丰富的市场和客户服务经验。

南大光电发布的可行性研究报告显示，台积电在2017年即完成认证，并开始批量采购飞源气体的NF₃产品，中芯国际2018年已完成飞源气体样品测试工作，并开始供货。

南大光电成立于2000年，是一家专业从事高纯电子材料研发、生产和销售的企业，主要有MO源、电子特气、ALD/CVD前驱体材料和光刻胶四大业务板块。

南大光电认为，其与飞源气体双方在客户、技术、管理、资本等领域均存在较强的协同性。本次交易，一方面将大幅增强飞源气体的核心竞争力， 同时也对南大光电电子特种气体业务的布局与发展具有重要的战略价值。

通过投资并购飞源气体，南大光电将快速切入氟系电子特气市场，为其完成电子特气产业布局走出坚实的一步。

7月17日，南大光电在互动平台透露，公司设立光刻胶事业部，并成立了全资子公司“宁波南大光电材料有限公司”，全力推进“ArF光刻胶开发和产业化项目”落地实施。目前该项目完成的研发技术正在等待验收中，预计2019年底建成一条光刻胶生产线，项目产业化基地建设顺利。

资料显示，南大光电是一家专业从事高纯电子材料研发、生产和销售的高新技术企业，公司于2012年8月7日在深圳证券交易所创业板挂牌上市。

凭借30多年来的技术积累优势，南大光电先后攻克了国家863计划MO源全系列产品产业化、国家“02—专项”高纯电子气体（砷烷、磷烷）研发与产业化、ALD/CVD前驱体产业化等多个困扰我国数十年的项目，填补了多项国内空白。2017年，南大光电承担了集成电路芯片制造用关键核心材料之一的193nm光刻胶材料的研发与产业化项目。

通过承担国家重大技术攻关项目并实现产业化，南大光电形成了MO源、电子特气、ALD/CVD前驱体材料和光刻胶四大业务板块。